[实用新型]一种新型真空镀膜机

说明书

本实用新型涉及一种新型真空镀膜机，包括真空腔体和深冷泵，真空腔体内设置一用于承载产品的承载支架、一镀膜用的电子枪以及一中空的防污罩，承载支架和电子枪之间设置一镀膜材料，防污罩中开设有贯穿的通孔，通孔一端朝向电子枪，通孔的另一端朝向承载支架，朝向承载支架的通孔一端的直径大于通孔另一端的直径，镀膜材料设置在通孔内；深冷泵包括用于吸附气体和水汽的冷凝盘管，冷凝盘管呈层叠线圈结构，冷凝盘管安装在与真空腔体通过管道连通的高阀腔体中；冷凝盘管包括加热除霜装置。该新型真空镀膜机能够节省了清洁衬板的时间；提高了真空镀膜机抽气系统的抽气速度及抽气质量。

技术领域

本实用新型涉及镀膜机技术领域，特别是涉及一种新型真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机工作时：先抽真空，使真空腔体处于真空状态，再通过电子枪束流对真空腔体底部坩埚内的镀膜材料(简称膜料)加热；膜料在加热到一定的温度后，膜料分子会产生挥发，挥发出的膜料分子沉积在真空腔体顶部的产品表面形成薄膜。通常，膜料分子分子是向坩埚四周扩散，真空腔体内壁及底板上的衬板会覆盖上膜料，这既造成了膜料分子的浪费，又增加了清洁坩埚的工作量。正常情况下，生产两天就需要将坩埚内壁设置的衬板进行清洁，一次清洁需要半天时间而且工作量大，浪费时间，影响工作生产。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种新型真空镀膜机，膜料对衬板的污染少，能够降低设备清洁维护时间。

一种新型真空镀膜机，包括真空腔体和深冷泵，所述真空腔体内设置一用于承载产品的承载支架、一镀膜用的电子枪以及一中空的防污罩，所述承载支架和电子枪之间设置一镀膜材料，所述防污罩中开设有贯穿的通孔，所述通孔一端朝向所述电子枪，所述通孔的另一端朝向所述承载支架，朝向所述承载支架的所述通孔一端的直径大于所述通孔另一端的直径，所述镀膜材料设置在所述通孔内；

所述深冷泵包括用于吸附气体和水汽的冷凝盘管，所述冷凝盘管呈层叠线圈结构，所述冷凝盘管安装在与所述真空腔体通过管道连通的高阀腔体中；所述冷凝盘管包括加热除霜装置。

上述新型真空镀膜机，在电子枪前加装一个防污罩，挡住向坩埚周围挥发的膜料分子，使真空室衬板保持清洁，在防污罩脏污后更换一个防污罩继续生产，节省了清洁衬板的时间；在真空镀膜机中增加深冷泵，将深冷泵中的冷凝盘管安装在与真空腔体相连通的高阀腔体中，通过其表面的低温冷凝效应，迅速捕集真空腔体中的残余气体，从而大大缩短抽真空的时间并且能获得洁净的真空环境，提高了真空镀膜机抽气系统的抽气速度及抽气质量。

附图说明

图1为其中一个实施例的真空镀膜机的结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

如图1所示，一种新型真空镀膜机，包括真空腔体1和深冷泵2，真空腔体1内设置一用于承载产品的承载支架11、一镀膜用的电子枪12以及一中空的防污罩13，承载支架11和电子枪12之间设置一镀膜材料(未图示)，防污罩13中开设有贯穿的通孔131，通孔131一端朝向电子枪12，通孔131的另一端朝向承载支架11，朝向承载支架11的通孔131一端的直径大于通孔131另一端的直径，镀膜材料设置在通孔131内。承载支架11的伞面上设置多个贯穿的圆孔14，产品(未图示)设置在圆孔14中。