[实用新型]一种新型真空镀膜机有效
| 申请号： | 201821731916.4 | 申请日： | 2018-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN209227049U | 公开（公告）日： | 2019-08-09 |
| 发明（设计）人： | 黄子瀚 | 申请（专利权）人： | 深圳市亨利莱科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518116 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 通孔 承载支架 冷凝盘管 新型真空 电子枪 镀膜机 镀膜材料 真空腔体 防污罩 抽气 深冷 直径大于通孔 本实用新型 真空镀膜机 层叠线圈 抽气系统 除霜装置 管道连通 吸附气体 水汽 真空腔 衬板 镀膜 高阀 腔体 加热 承载 体内 清洁 贯穿 | ||
【权利要求书】：
1.一种新型真空镀膜机，其特征在于，包括真空腔体和深冷泵，所述真空腔体内设置一用于承载产品的承载支架、一镀膜用的电子枪以及一中空的防污罩，所述承载支架和电子枪之间设置一镀膜材料，所述防污罩中开设有贯穿的通孔，所述通孔一端朝向所述电子枪，所述通孔的另一端朝向所述承载支架，朝向所述承载支架的所述通孔一端的直径大于所述通孔另一端的直径，所述镀膜材料设置在所述通孔内；
所述深冷泵包括用于吸附气体和水汽的冷凝盘管，所述冷凝盘管呈层叠线圈结构，所述冷凝盘管安装在与所述真空腔体通过管道连通的高阀腔体中；所述冷凝盘管包括加热除霜装置。
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