[实用新型]一种超高真空系统传样装置

说明书

本实用新型公开了一种超高真空系统传样装置，包括真空腔，分别与真空腔密封连接的手阀、离子泵、传样设备和观察窗，所述真空腔内设置有样品架，真空腔上安装有连接并控制样品架升降和转动的二维调节机构，样品架包括中心轴和安装板，中心轴外表面与安装板固定连接，安装板高度方向与中心轴轴向平行，安装板为多个且沿中心轴周向均匀排布，每个安装板上沿其高度方向设有依次排布的多个窗口，样品架升降和转动状态下，将不同窗口切换至手阀与传样设备的中心连线上，用于样品存取；本实用新型通过切换各安装板的位置，实现多组样品的存取。

技术领域

本实用新型属于真空设备技术领域，具体是涉及一种超高真空系统传样装置。

背景技术

超高真空系统是指在人造超高真空环境下，对不同类型的样品进行生长、表征和测量的系统；样品在超高真空系统中制备完成后，为了保证其性质稳定，通常需要在不破坏超高真空的环境中进行测试和分析；样品转移的方法一般为：先在真空腔内通入惰性气体做保护气，再将样品取出并快速放入干净的样品盒或真空箱中；或者先在样品上镀上一层保护膜再拿出等；每种方法都不能避免“开腔取样”这一操作步骤，使样品暴露于非真空的气体环境，导致气体吸附到样品表面，都会一定程度的污染样品；目前，还没有一种能够在不破坏超高真空环境的前提下，实现样品在不同超高真空系统间转移的便携式设备。

中国实用新型专利《一种超高真空样品转移设备》（公开号：203849265U；公开日：2014年9月24日）中公开了一种超高真空样品转移设备，其包括样品转移腔；样品转移腔包括真空腔，分别与真空腔密封连接的手阀、离子泵、传样设备、储藏室、观察窗和密封装置，其中，传样设备包括用于夹紧样品并控制样品移动和转动的磁力传样杆，样品储藏室包括：用于存放样品的柱形腔体和控制样品移动的可升降样品台；通过分析可知，该超高真空样品转移设备通过操作可升降样品台，将一组样品沿高度方向叠放在柱形腔体内，导致该超高真空样品转移设备能够储存及传递的样品有限。

发明内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种超高真空系统传样装置，通过样品架的升降和转动，将不同窗口切换至手阀与传样设备的中心连线上，实现多组样品的存取，从而提高本实用新型的工作效率。

为了达到上述目的，本实用新型一种超高真空系统传样装置，包括真空腔，分别与真空腔密封连接的手阀、离子泵、传样设备和观察窗，所述真空腔内设置有样品架，真空腔上安装有连接并控制样品架升降和转动的二维调节机构，样品架包括中心轴和安装板，中心轴外表面与安装板固定连接，安装板高度方向与中心轴轴向平行，安装板为多个且沿中心轴周向均匀排布，每个安装板上沿其高度方向设有依次排布的多个窗口，样品架升降和转动状态下，将不同窗口切换至手阀与传样设备的中心连线上，用于样品存取。

进一步，所述样品架还包括托板，托板水平穿过窗口且与窗口下侧边固定连接，每个窗口对应一个托板，托板用于托放样品。

进一步，所述安装板为四个。

进一步，所述传样设备和二维调节机构均为磁力传样杆，传样设备具有与真空腔密封连接的第一外管和伸入真空腔内部的第一驱动管，二维调节机构具有与真空腔密封连接的第二外管和伸入真空腔内部的第二驱动管。

进一步，所述手阀和传样设备分别对应在真空腔左右两侧，离子泵和观察窗分别对应在真空腔前后两侧，二维调节机构密封连接于真空腔上侧，中心轴上端与第二驱动管下端固定连接。

本实用新型的有益效果在于：

1.本实用新型一种超高真空系统传样装置有利于提高工作效率；这里，每个安装板对应一组样品；通过样品架的升降，实现同一组样品中不同样品存储；通过样品架的转动，切换各安装板的位置，实现不同组样品存储。

2.本实用新型一种超高真空系统传样装置进一步优化了整体结构；这里，每个窗口对应一个托板，通过托板托放样品，因此，安装板的厚度可以进一步降低，从而降低本实用新型整体的重量。