[实用新型]一种超高真空系统传样装置

权利要求书

1.一种超高真空系统传样装置，包括真空腔，分别与真空腔密封连接的手阀、离子泵、传样设备和观察窗，其特征在于：所述真空腔内设置有样品架，真空腔上安装有连接并控制样品架升降和转动的二维调节机构，样品架包括中心轴和安装板，中心轴外表面与安装板固定连接，安装板高度方向与中心轴轴向平行，安装板为多个且沿中心轴周向均匀排布，每个安装板上沿其高度方向设有依次排布的多个窗口，样品架升降和转动状态下，将不同窗口切换至手阀与传样设备的中心连线上，用于样品存取。

2.如权利要求1所述的一种超高真空系统传样装置，其特征在于：所述样品架还包括托板，托板水平穿过窗口且与窗口下侧边固定连接，每个窗口对应一个托板，托板用于托放样品。

3.如权利要求1或2所述的一种超高真空系统传样装置，其特征在于：所述安装板为四个。

4.如权利要求1或2所述的一种超高真空系统传样装置，其特征在于：所述传样设备和二维调节机构均为磁力传样杆，传样设备具有与真空腔密封连接的第一外管和伸入真空腔内部的第一驱动管，二维调节机构具有与真空腔密封连接的第二外管和伸入真空腔内部的第二驱动管。

5.如权利要求4所述的一种超高真空系统传样装置，其特征在于：所述手阀和传样设备分别对应在真空腔左右两侧，离子泵和观察窗分别对应在真空腔前后两侧，二维调节机构密封连接于真空腔上侧，中心轴上端与第二驱动管下端固定连接。