[实用新型]光刻胶排放系统有效
| 申请号： | 201821717734.1 | 申请日： | 2018-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN208848032U | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 郑义强 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/30 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光刻胶 缓冲罐 供给源 排放系统 排液管路 本实用新型 供液管路 交叉污染 杂质回流 滤出 污染 | ||
1.一种光刻胶排放系统，其特征在于，所述光刻胶排放系统包括：
若干个光刻胶供给源，用于提供光刻胶；
若干个缓冲罐，与所述光刻胶供给源一一对应连接；
若干个第一供液管路，位于所述光刻胶供给源与所述缓冲罐之间，一端与所述光刻胶供给源一一对应连接，另一端与所述缓冲罐一一对应连接；
若干个排液管路，与所述缓冲罐一一对应连接；及
若干个第二供液管路，一端与所述缓冲罐一一对应连接。
2.根据权利要求1所述的光刻胶排放系统，其特征在于，部分所述光刻胶供给源提供的光刻胶互不相同。
3.根据权利要求1所述的光刻胶排放系统，其特征在于，若干个所述光刻胶供给源提供的光刻胶均互不相同。
4.根据权利要求1所述的光刻胶排放系统，其特征在于，所述光刻胶供给源包括光刻胶供给瓶。
5.根据权利要求1所述的光刻胶排放系统，其特征在于，所述光刻胶排放系统还包括：
排污端口，与若干个所述排液管路远离所述缓冲罐的一端均相连接；及
厂务排污系统，与所述排污端口相连接。
6.根据权利要求1所述的光刻胶排放系统，其特征在于，所述光刻胶排放系统还包括供气管路，一端与所述光刻胶供给源相连接，另一端与气体源相连接。
7.根据权利要求6所述的光刻胶排放系统，其特征在于，所述气体源包括氮气源。
8.根据权利要求1所述的光刻胶排放系统，其特征在于，所述光刻胶排放系统还包括若干个喷嘴，若干个所述喷嘴与所述第二供液管路远离所述缓冲罐的一端一一对应连接。
9.根据权利要求8所述的光刻胶排放系统，其特征在于，所述光刻胶排放系统还包括：
若干个过滤器，一一对应设置于所述第二供液管路上；
若干个捕集阱，一一对应设置于所述第二供液管路上，且位于所述过滤器与所述喷嘴之间；
若干个抽液泵，一一对应设置于所述第二供液管路上，且位于所述捕集阱与所述喷嘴之间；及
若干个控制阀，一一对应设置于所述第二供液管路上，且位于所述抽液泵与所述喷嘴之间。
10.根据权利要求9所述的光刻胶排放系统，其特征在于，所述控制阀包括气动阀。
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