[实用新型]一种芯片测试装置

权利要求书

1.一种芯片测试装置，其特征在于，包括：

固定座(1)，所述固定座(1)上开设有若干个第一通孔(11)；

保持板(2)，所述保持板(2)固定于所述固定座(1)的底部，所述保持板(2)上开设有若干个与所述第一通孔(11)同轴的第二通孔(21)；

弹簧探针(3)，所述弹簧探针(3)穿设于所述第一通孔(11)和所述第二通孔(21)内；

绝缘环(4)，所述绝缘环(4)分别设置于所述第一通孔(11)的上端和所述第二通孔(21)的下端，所述绝缘环(4)能够将所述弹簧探针(3)的端部套设于其内；

导向件(5)，所述导向件(5)设置于所述固定座(1)的上方，所述导向件(5)用于固定待测芯片(100)，所述导向件(5)上开设有若干透气通道。

2.根据权利要求1所述的芯片测试装置，其特征在于，所述第一通孔(11)的上端和所述第二通孔(21)的下端均为台阶孔，所述绝缘环(4)设置于所述台阶孔内。

3.根据权利要求2所述的芯片测试装置，其特征在于，所述绝缘环(4)包括限位部(41)和固定部(42)，所述限位部(41)外侧壁的直径大于所述固定部(42)外侧壁的直径，所述限位部(41)设置于所述台阶孔的大直径孔内，所述固定部(42)卡设于所述台阶孔的小直径孔内。

4.根据权利要求1所述的芯片测试装置，其特征在于，所述绝缘环(4)通过胶水粘接于所述第一通孔(11)和所述第二通孔(21)内。

5.根据权利要求1所述的芯片测试装置，其特征在于，所述导向件(5)包括导向框(51)和导向板(52)，所述导向板(52)可拆卸地设置于所述导向框(51)内，所述导向框(51)的每个侧壁上均开设有第一透气孔(511)，所述导向板(52)的每个侧壁上均开设有与所述第一透气孔(511)相配合的第二透气孔(521)，所述第一透气孔(511)与所述第二透气孔(521)组合形成所述透气通道。

6.根据权利要求5所述的芯片测试装置，其特征在于，所述导向板(52)上设置有芯片槽(522)，所述芯片槽(522)用于放置所述待测芯片(100)。

7.根据权利要求1所述的芯片测试装置，其特征在于，还包括底板(6)，所述固定座(1)和所述导向件(5)均可拆卸地固定于所述底板(6)上。

8.根据权利要求7所述的芯片测试装置，其特征在于，所述底板(6)上设置有凹槽(61)，所述凹槽(61)的角部开设有第三透气孔(62)。

9.根据权利要求1所述的芯片测试装置，其特征在于，所述弹簧探针(3)包括筒体(31)、上探针头(32)和下探针头(33)，所述筒体(31)的外侧壁为光滑的圆柱面，所述筒体(31)的两端均设置有开口，所述上探针头(32)铆接固定于所述筒体(31)上端的开口处，所述下探针头(33)挤嵌于所述筒体(31)下端的开口处。

10.根据权利要求9所述的芯片测试装置，其特征在于，所述筒体(31)的外径小于所述第一通孔(11)和所述第二通孔(21)的直径，且大于所述上探针头(32)和所述下探针头(33)的直径。