[实用新型]晶圆处理装置

权利要求书

1.一种晶圆处理装置，其特征在于，包括：

反应腔室；

第一传输室，具有第一机械手臂，用于将晶圆自外界传输至所述反应腔室内进行处理；

第二传输室，与所述第一传输室分别位于所述反应腔室的相对两侧，具有第二机械手臂，用于将经所述反应腔室处理后的所述晶圆传输至外界。

2.根据权利要求1所述的晶圆处理装置，其特征在于，还包括：

第一分隔板，位于所述反应腔室与所述第一传输室之间，用于隔离所述反应腔室与所述第一传输室；

第二分隔板，位于所述反应腔室与所述第二传输室之间，用于隔离所述反应腔室与所述第二传输室。

3.根据权利要求1所述的晶圆处理装置，其特征在于，所述第一机械手臂与所述第二机械手臂结构相同；所述第一机械手臂包括支撑柱和支撑台；所述支撑柱沿竖直方向延伸；所述支撑台位于所述支撑柱的顶部，用于承载所述晶圆。

4.根据权利要求3所述的晶圆处理装置，其特征在于，所述第一机械手臂还包括控制器和第一驱动器；所述第一驱动器连接所述控制器，用于根据所述控制器发出的第一指令驱动所述支撑台围绕第一轴线自转，所述第一轴线沿竖直方向延伸、且与所述支撑柱的轴线重合。

5.根据权利要求4所述的晶圆处理装置，其特征在于，所述第一机械手臂还包括第二驱动器；所述第二驱动器连接所述控制器，用于根据所述控制器的第二指令驱动所述支撑柱沿竖直方向进行升降运动。

6.根据权利要求5所述的晶圆处理装置，其特征在于，所述第一机械手臂还包括沿第一水平方向延伸的轨道，所述第一水平方向与所述竖直方向垂直；所述支撑柱的底部与所述轨道连接，且所述支撑柱能够沿所述轨道滑动。

7.根据权利要求6所述的晶圆处理装置，其特征在于，所述第一机械手臂还包括位于所述支撑台上的手臂本体，所述手臂本体用于夹持所述晶圆。

8.根据权利要求7所述的晶圆处理装置，其特征在于，所述手臂本体包括承载部以及均位于所述承载部表面的第一夹臂和第二夹臂；所述第一夹臂与所述第二夹臂用于共同夹持置于所述承载部表面的所述晶圆。

9.根据权利要求8所述的晶圆处理装置，其特征在于，所述第一夹臂固定于所述承载部表面；所述第二夹臂与所述承载部连接，且能够在所述承载部表面沿第二水平方向运动，所述第二水平方向同时与所述第一水平方向和所述竖直方向垂直。

10.根据权利要求9所述的晶圆处理装置，其特征在于，所述承载部沿所述第二水平方向延伸，且其末端与所述支撑台连接；所述手臂本体还包括第三驱动器；所述第三驱动器连接所述控制器，用于驱动所述承载部围绕第二轴线自转，所述第二轴线穿过所述承载部的中心且沿所述第二水平方向延伸。