[实用新型]一种多基片与多磁控靶之间的位置控制电路有效
| 申请号： | 201821708736.4 | 申请日： | 2018-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN208965027U | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 邓树洁 | 申请（专利权）人： | 上海利方达真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京卫平智业专利代理事务所(普通合伙) 11392 | 代理人： | 谢建玲;郝亮 |
| 地址： | 201822 上海市嘉*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磁控靶 位置控制电路 本实用新型 电阻 稳压二极管 二极管 光电开关 控制电路 位置控制 三极管 元器件 电路 采购 | ||
1.一种多基片与多磁控靶之间的位置控制电路，其特征在于，包括：光电开关K1-K16，若干二极管D1、若干稳压二极管D2、若干电阻R1、若干电阻R2和若干三极管Q；
基片Ⅰ在磁控靶Ⅳ的光电开关K4的引脚②与基片Ⅰ在磁控靶Ⅲ的光电开关K3的引脚①串联，基片Ⅰ在磁控靶Ⅲ的光电开关K3的引脚②与基片Ⅰ在磁控靶Ⅱ的光电开关K2的引脚①串联，基片Ⅰ在磁控靶Ⅱ的光电开关K2的引脚②与基片Ⅰ在磁控靶Ⅰ的光电开关K1的引脚①串联，基片Ⅰ在磁控靶Ⅳ的光电开关K4的引脚①与电阻R1的一端连接，基片Ⅰ在磁控靶Ⅰ的光电开关K1的引脚③、基片Ⅰ在磁控靶Ⅱ的光电开关K2的引脚③、基片Ⅰ在磁控靶Ⅲ的光电开关K3的引脚③、基片Ⅰ在磁控靶Ⅳ的光电开关K4的引脚③并联后与电阻R1的另一端连接，作为基片Ⅰ的输入电压端Y1；
基片Ⅱ在磁控靶Ⅳ的光电开关K8的引脚②与基片Ⅱ在磁控靶Ⅲ的光电开关K7的引脚①串联，基片Ⅱ在磁控靶Ⅲ的光电开关K7的引脚②与基片Ⅱ在磁控靶Ⅱ的光电开关K6的引脚①串联，基片Ⅱ在磁控靶Ⅱ的光电开关K6的引脚②与基片Ⅱ在磁控靶Ⅰ的光电开关K5的引脚①串联，基片Ⅱ在磁控靶Ⅳ的光电开关K8的引脚①与电阻R1的一端连接，基片Ⅱ在磁控靶Ⅰ的光电开关K5的引脚③、基片Ⅱ在磁控靶Ⅱ的光电开关K6的引脚③、基片Ⅱ在磁控靶Ⅲ的光电开关K7的引脚③、基片Ⅱ在磁控靶Ⅳ的光电开关K8的引脚③并联后与电阻R1的另一端连接，作为基片Ⅱ的输入电压端Y2；
基片Ⅲ在磁控靶Ⅳ的光电开关K12的引脚②与基片Ⅲ在磁控靶Ⅲ的光电开关K11的引脚①串联，基片Ⅲ在磁控靶Ⅲ的光电开关K11的引脚②与基片Ⅲ在磁控靶Ⅱ的光电开关K10的引脚①串联，基片Ⅲ在磁控靶Ⅱ的光电开关K10的引脚②与基片Ⅲ在磁控靶Ⅰ的光电开关K9的引脚①串联，基片Ⅲ在磁控靶Ⅳ的光电开关K12的引脚①与电阻R1的一端连接，基片Ⅲ在磁控靶Ⅰ的光电开关K9的引脚③、基片Ⅲ在磁控靶Ⅱ的光电开关K10的引脚③、基片Ⅲ在磁控靶Ⅲ的光电开关K11的引脚③、基片Ⅲ在磁控靶Ⅳ的光电开关K12的引脚③并联后与电阻R1的另一端连接，作为基片Ⅲ的输入电压端Y3；
基片Ⅳ在磁控靶Ⅳ的光电开关K16的引脚②与基片Ⅳ在磁控靶Ⅲ的光电开关K15的引脚①串联，基片Ⅳ在磁控靶Ⅲ的光电开关K15的引脚②与基片Ⅳ在磁控靶Ⅱ的光电开关K14的引脚①串联，基片Ⅳ在磁控靶Ⅱ的光电开关K14的引脚②与基片Ⅳ在磁控靶Ⅰ的光电开关K13的引脚①串联，基片Ⅳ在磁控靶Ⅳ的光电开关K16的引脚①与电阻R1的一端连接，基片Ⅳ在磁控靶Ⅰ的光电开关K13的引脚③、基片Ⅳ在磁控靶Ⅱ的光电开关K14的引脚③、基片Ⅳ在磁控靶Ⅲ的光电开关K15的引脚③、基片Ⅳ在磁控靶Ⅳ的光电开关K16的引脚③并联后与电阻R1的另一端连接，作为基片Ⅳ的输入电压端Y4；
基片Ⅰ在磁控靶Ⅰ的光电开关K1的引脚②、基片Ⅱ在磁控靶Ⅰ的光电开关K5的引脚②、基片Ⅲ在磁控靶Ⅰ的光电开关K9的引脚②、基片Ⅳ在磁控靶Ⅰ的光电开关K13的引脚②均接0VDC电源；
基片Ⅰ在磁控靶Ⅰ的光电开关K1的引脚④与二极管D1的正极连接，基片Ⅱ在磁控靶Ⅰ的光电开关K5的引脚④与二极管D1的正极连接，基片Ⅲ在磁控靶Ⅰ的光电开关K9的引脚④与二极管D1的正极连接，基片Ⅳ在磁控靶Ⅰ的光电开关K13的引脚④与二极管D1的正极连接，上述四个二极管D1的负极并联后与稳压二极管D2的正极连接、与电阻R2的一端连接，电阻R2的另一端接0VDC电源；稳压二极管D2的负极与一个二极管D1的负极连接，二极管D1的正极与三极管Q的基极连接，三极管Q的集电极作为磁控靶Ⅰ的信号输出端X1，
基片Ⅰ在磁控靶Ⅱ的光电开关K2的引脚④与二极管D1的正极连接，基片Ⅱ在磁控靶Ⅱ的光电开关K6的引脚④与二极管D1的正极连接，基片Ⅲ在磁控靶Ⅱ的光电开关K10的引脚④与二极管D1的正极连接，基片Ⅳ在磁控靶Ⅱ的光电开关K14的引脚④与二极管D1的正极连接，上述四个二极管D1的负极并联后与稳压二极管D2的正极连接、与电阻R2的一端连接，电阻R2的另一端接0VDC电源；稳压二极管D2的负极与一个二极管D1的负极连接，二极管D1的正极与三极管Q的基极连接，三极管Q的集电极作为磁控靶Ⅱ的信号输出端X2，
基片Ⅰ在磁控靶Ⅲ的光电开关K3的引脚④与二极管D1的正极连接，基片Ⅱ在磁控靶Ⅲ的光电开关K7的引脚④与二极管D1的正极连接，基片Ⅲ在磁控靶Ⅲ的光电开关K11的引脚④与二极管D1的正极连接，基片Ⅳ在磁控靶Ⅲ的光电开关K15的引脚④与二极管D1的正极连接，上述四个二极管D1的负极并联后与稳压二极管D2的正极连接、与电阻R2的一端连接，电阻R2的另一端接0VDC电源；稳压二极管D2的负极与一个二极管D1的负极连接，二极管D1的正极与三极管Q的基极连接，三极管Q的集电极作为磁控靶Ⅲ的信号输出端X3，
基片Ⅰ在磁控靶Ⅳ的光电开关K4的引脚④与二极管D1的正极连接，基片Ⅱ在磁控靶Ⅳ的光电开关K8的引脚④与二极管D1的正极连接，基片Ⅲ在磁控靶Ⅳ的光电开关K12的引脚④与二极管D1的正极连接，基片Ⅳ在磁控靶Ⅳ的光电开关K16的引脚④与二极管D1的正极连接，上述四个二极管D1的负极并联后与稳压二极管D2的正极连接、与电阻R2的一端连接，电阻R2的另一端接0VDC电源；稳压二极管D2的负极与一个二极管D1的负极连接，二极管D1的正极与三极管Q的基极连接，三极管Q的集电极作为磁控靶Ⅳ的信号输出端X4，
上述四个三极管Q的发射极并联后接+24VDC电源。
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