[实用新型]一种简易型气液混合阀门箱

说明书

本实用新型涉及半导体器件制造业所用的鼓泡装置技术领域，具体地说是一种简易型气液混合阀门箱，其在箱体内设载气管路；液态源管路；真空射流器，其进气口连接所述载气管路的出口端，其真空吸入口连接液态源管路的出口端；混合输出分配管路，一端为混合气进气端连接真空射流器的混合气出口，另一端为吹扫气进气端；混合气进气端连接真空射流器的混合气出口，其管路上依次设有若干分配控制阀，分配控制阀的混合气输出通连接输出管的一端，输出管的另一端用于连接相应的工艺生产机台；吹扫管路，其出口连接混合输出分配管路的吹扫气进气端。本实用新型与现有技术相比，大大降低制造成本；提升了安全性；气液混合充分有效，控制有效可靠，操作简单。

技术领域

本实用新型涉及半导体器件制造业所用的鼓泡装置技术领域，具体地说是一种简易型气液混合阀门箱。

背景技术

半导体/光伏/光纤等先进半导体器件制造业，会使用到如PoCl₃、SiCl₄、GeCl₃等有毒有害化学液态源，生产机台端需要的是气液混合气，这就需要使用载气携带液体气化后的蒸气形式供应到机台端。

目前通常使用的是鼓泡装置，也就是在液态源容器中，把载气通过管道通入容器底部，液态源气化后的蒸气分子依附在载气气体分子表面，通过载气气流被携带至后端的工艺生产机台。对液态源容器做恒温控制，保证在一定温度下液态源固定的饱和蒸气压，且使用MFC质量流量计对载气流量精确计量，来精确控制载气携带液态源蒸气的量进入工艺生产机台。

上述处理方式会存在如下缺点：

1.整个鼓泡系统配置复杂，制造成本很高。

2.流量温度计量控制需要定期维护校准，使用维护复杂，维护成本也高。

3.由于温度会影响液态源的饱和蒸气压，故不仅在源瓶和阀组面盘上要恒温，在液态源蒸气输送管路全程严格控制温度。

4.温度流量等计量控制精确，适合用于工艺生产机台端对液态源蒸气量有严格要求的工艺生产。而目前有的工艺生产机台对液态源蒸气流量和压力有严格要求，而有的工艺生产机台对液态源蒸气流量幅度值要求很宽泛。

综上所述，这就需要一种简易型的鼓泡装置，以适用于对液态源蒸气流量幅度值要求很宽泛的工艺生产机台。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服现有技术的不足，提供一种适用于对液态源蒸气流量幅度值要求很宽泛的工艺生产机台用的，且操作维护简便，成本低廉的简易型鼓泡装置。

为实现上述目的，设计一种简易型气液混合阀门箱，包括箱体，其特征在于，在所述箱体内设有：

——载气管路，用于输送载气，其进气口设于箱体上；

——液态源管路，用于输送液态源，其进液口设于箱体上；

——真空射流器，其进气口连接所述载气管路的出口端，其真空吸入口连接液态源管路的出口端，用于蒸发气化液态源并使之与载气混合形成混合气；

——混合输出分配管路，其一端为混合气进气端，其另一端为吹扫气进气端；所述混合气进气端连接所述真空射流器的混合气出口，其管路上依次设有若干分配控制阀，分配控制阀的混合气输出通连接输出管的一端，输出管的另一端用于连接相应的工艺生产机台，为工艺生产机台输送混合气；

——吹扫管路，其吹扫气进口设于箱体上，其出口连接所述混合输出分配管路的吹扫气进气端。

进一步的，所述的箱体为带负压抽风系统的金属防爆柜体，金属防爆柜体正面还设有带防爆玻璃的柜门。

进一步的，所述载气管路为采用1/4”管径的载气管道，并在载气管道上沿载气输送方向依次设有手动隔离阀MV1、减压阀REG1、压力表PG1、单向阀CV1、可调节式气体流量计LFM、气动隔离阀。