[实用新型]一种简易型气液混合阀门箱有效
| 申请号: | 201821704128.6 | 申请日: | 2018-10-19 |
| 公开(公告)号: | CN209596950U | 公开(公告)日: | 2019-11-08 |
| 发明(设计)人: | 沈一林;效义;薛元 | 申请(专利权)人: | 至砾机电设备(上海)有限公司 |
| 主分类号: | B01F5/02 | 分类号: | B01F5/02;B01F3/04;F17D1/02;F17D3/01;F17D5/02 |
| 代理公司: | 上海宣宜专利代理事务所(普通合伙) 31288 | 代理人: | 刘君 |
| 地址: | 200241 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 气液混合 真空射流 本实用新型 混合气出口 混合气进气 分配管路 混合输出 出口端 吹扫气 阀门箱 简易型 进气端 控制阀 输出管 液态源 机台 半导体器件 进气口连接 真空吸入口 出口连接 吹扫管路 工艺生产 鼓泡装置 载气管路 制造成本 混合气 气管路 分配 制造业 输出 | ||
1.一种简易型气液混合阀门箱,包括箱体(1),其特征在于,在所述箱体(1)内设有:
——载气管路,用于输送载气,其进气口设于箱体(1)上;
——液态源管路,用于输送液态源,其进液口设于箱体(1)上;
——真空射流器(4),其进气口连接所述载气管路的出口端,其真空吸入口连接液态源管路的出口端,用于蒸发气化液态源并使之与载气混合形成混合气;
——混合输出分配管路,其一端为混合气进气端,其另一端为吹扫气进气端;所述混合气进气端连接所述真空射流器(4)的混合气出口,其管路上依次设有若干分配控制阀,分配控制阀的混合气输出通连接输出管的一端,输出管的另一端用于连接相应的工艺生产机台,为工艺生产机台输送混合气;
——吹扫管路,其吹扫气进口设于箱体(1)上,其出口连接所述混合输出分配管路的吹扫气进气端。
2.如权利要求1所述的一种简易型气液混合阀门箱,其特征在于:所述的箱体(1)为带负压抽风系统(2)的金属防爆柜体,金属防爆柜体正面还设有带防爆玻璃的柜门。
3.如权利要求1所述的一种简易型气液混合阀门箱,其特征在于:所述载气管路为采用1/4”管径的载气管道,并在载气管道上沿载气输送方向依次设有手动隔离阀MV1、减压阀REG1、压力表PG1、单向阀CV1、可调节式气体流量计LFM、气动隔离阀。
4.如权利要求1所述的一种简易型气液混合阀门箱,其特征在于:所述的液态源管路为采用1/4”管径的输液管道,并在输液管道上沿液态源输送方向依次设启动隔离阀AV1、第一压力传感器PT1、可设定流量的液体流量计LFM。
5.如权利要求1所述的一种简易型气液混合阀门箱,其特征在于:所述的分配控制阀采用T型三通阀。
6.如权利要求5所述的一种简易型气液混合阀门箱,其特征在于:所述的T型三通阀设有1~4个。
7.如权利要求6所述的一种简易型气液混合阀门箱,其特征在于:所述的混合输出分配管路采用1/2”管径的主管,且在混合气进气端和与之最近的T型三通阀之间的主管上设有第二压力传感器PT2。
8.如权利要求7所述的一种简易型气液混合阀门箱,其特征在于:所述的主管直至输出管分别设有伴热保温装置。
9.如权利要求1所述的一种简易型气液混合阀门箱,其特征在于:
所述箱体(1)上还设有若干用于侦测泄露用的传感器,所述传感器包括温度传感器、光感传感器、烟感传感器;
所述箱体(1)的底部还设有漏液开关。
10.如权利要求1~9任一项所述的一种简易型气液混合阀门箱,其特征在于:所述的箱体(1)的外壁上还固定设有实现自动控制用的电气控制箱(3)。
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