[实用新型]一种翻片装置有效

专利信息
申请号: 201821700274.1 申请日: 2018-10-19
公开(公告)号: CN208970485U 公开(公告)日: 2019-06-11
发明(设计)人: 雷晶;李志刚;艾辉;徐贵阳;雷合鸿 申请(专利权)人: 武汉帝尔激光科技股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683
代理公司: 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 代理人: 杨立;陈振玉
地址: 430223 湖北省武*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 吸盘 固定侧板 翻片装置 本实用新型 驱动机构 并列设置 传动连接 高效生产 硅片加工 间隔平行 竖直设置 转动连接 翻转 板状 翻片 驱动
【权利要求书】:

1.一种翻片装置,其特征在于:包括两个固定侧板(1)、至少一个板状的吸盘(2)和驱动机构(3);

两个所述固定侧板(1)分别竖直设置,并间隔平行分布;

至少一个所述吸盘(2)设置在两个所述固定侧板(1)之间的上部,且所述吸盘(2)的两端分别与两个所述固定侧板(1)转动连接;

所述驱动机构(3)与所述吸盘(2)传动连接,并可驱动所述吸盘(2)翻转。

2.根据权利要求1所述的一种翻片装置,其特征在于:所述吸盘(2)包括长方形的板体(21)和分别均匀安装在所述板体(21)两面的多个负压吸嘴(22),所述板体(21)内部具有负压腔,所述负压腔外接负压装置,所述负压吸嘴(22)分别与所述负压腔连通,所述板体(21)的两端分别与两个所述固定侧板(1)转动连接。

3.根据权利要求2所述的一种翻片装置,其特征在于:所述板体(21)的两端中部分别水平设有连通其内部负压腔的空心轴,所述板体(21)两端的空心轴分别穿过两个所述固定侧板(1),并分别与所述固定侧板(1)转动连接,任意一端的所述空心轴远离所述板体(21)的一端分别通过气管接头外接负压装置。

4.根据权利要求3所述的一种翻片装置,其特征在于:所述吸盘(2)设有两个,且分别并列间隔的分布在两个所述固定侧板(1)之间,所述驱动机构(3)分别与两个所述吸盘(2)传动连接,并可同步驱动两个所述吸盘(2)翻转。

5.根据权利要求4所述的一种翻片装置,其特征在于:所述驱动机构(3)包括两个上皮带轮(31)、两个下皮带轮(32)、两条皮带(33)和驱动装置(34),两个所述上皮带轮(31)分别同轴固定在两个所述吸盘(2)同一端的空心轴上,并位于同一个所述固定侧板(1)背离另一个所述固定侧板(1)的一侧,两个所述下皮带轮(32)分别一一对应的设置在两个所述上皮带轮(31)的下方,并分别可转动与所述固定侧板(1)连接,两条所述皮带(33)分别一一对应的环绕过两个所述上皮带轮(31)与对应的所述下皮带轮(32),所述驱动装置(34)与两条所述皮带(33)的任意一侧的同一位置处传动连接,并可同步驱动两条所述皮带(33)任意一侧上下移动,从而带动两个所述上皮带轮(31)及两个所述吸盘(2)同步翻转。

6.根据权利要求5所述的一种翻片装置,其特征在于:所述驱动装置(34)包括顶升装置(341)和连接头(342),所述顶升装置(341)与所述连接头(342)传动连接,所述连接头(342)分别可拆卸的与两条所述皮带(33)任意一侧的同一高度处连接,所述顶升装置(341)可驱动所述连接头(342)上下移动,并带动两条所述皮带(33)任意一侧同步上下移动。

7.根据权利要求6所述的一种翻片装置,其特征在于:所述连接头(342)包括U型的连接件(3421)和两块夹板(3422),所述连接件(3421)设置在两条所述皮带(33)之间,所述顶升装置(341)与所述连接件(3421)传动连接,两块所述夹板(3422)分别可拆卸的安装在所述连接件(3421)的两端相互背离的一侧,两条所述皮带(33)相互靠近的一侧分别穿过两块所述夹板(3422)与所述连接件(3421)的两端之间,并夹持在两块所述夹板(3422)与所述连接件(3421)的两端之间。

8.根据权利要求7所述的一种翻片装置,其特征在于:所述顶升装置(341)为气缸,并设置在所述连接件(3421)的下方,其驱动端向上并与所述连接件(3421)的封闭端中部连接固定。

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