[实用新型]一种激光二极管芯片光电属性检测装置

说明书

本实用新型公开了一种激光二极管芯片光电属性检测装置，包括一维升降机构、夹具、和条带探针，其中，所述夹具固连至一维升降机构，用于夹持弧形的条带探针，其中，所述条带探针自身呈弧形或弯曲成弧形，以与激光二极管脊顶面电极的延伸方向正交的方式，水平下降至与脊顶面电极的金电极图层接触的位置，由条带探针的弯曲形变提供接触压力。本实用新型以条带型的探针去替代传统的探针，去提供激光二极管光电属性检测过程所需要的电流(电压)，由于下针方式和接触面积的改变，对检测设备的位置精准度降低了要求，保护了激光二极管上的电极垫，延长了探针的使用寿命。从设备、耗材、以及制程工艺上降低了成本。

技术领域

本实用新型涉及一种激光二极管芯片光电属性检测装置。

背景技术

激光二极管芯片的光电属性(例如光强电流电压/PIV曲线，波长，远近场，高速特性)在其制程和产品品级筛选过程中是非常重要的参数，所有这些检测环节都需要给激光二极管芯片提供电流(或电压)的条件。

如图1和图2所示，在目前的激光二极管光电属性检测设备上，一般采用一根细的刚性探针20去接触芯片10上端的电极垫(pad)12，来提供正极电流；负极由二极管芯片背面的导电膜层或其他电极接触来提供。

激光二极管芯片上的电极垫通常是一个直径在几十微米，厚度在亚微米级的金(Au)垫构成。为了形成有效的电接触，探针的尖端直径不能超过电极垫的直径，通常为40-60微米。通常尖端也是延展性较高的金属(金Au)构成。

由于电极垫和探针都是直径尺寸都很小，对测量设备的位置对准要求较高，而且由于电极垫和探针尖都是延展性高的金属，所以在接触过程中，会发生形变，磨损和物质转移。电极垫如果扎的次数够多，就极大的改变了其接触电阻，影响器件的使用功效。而探针尖端，也会因为磨损造成失效。有些做法是：额外制造供检测光电属性的电极垫。

所以，传统的针型探针在激光二极管光电属性检测上在设备、耗材和制程工艺上都有成本的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种激光二级光光电属性检测装置，以替代传统的针尖型探针检测方式。

为此，本实用新型提供了一种激光二极管芯片光电属性检测装置，包括一维升降机构、夹具、和条带探针，其中，所述夹具固连至一维升降机构，用于夹持弧形的条带探针，其中，所述条带探针自身呈弧形或弯曲成弧形，以与激光二极管脊顶面电极的延伸方向正交的方式，水平下降至与脊顶面电极的金电极图层接触的位置，由条带探针的弯曲形变提供接触压力。

进一步地，上述激光二极管芯片光电属性检测装置还包括用于检测条带探针升降位移的测距装置(如激光测距器件，电容测距器件，温度测距器件)。

进一步地，上述条带探针的宽度为百微米级。

进一步地，上述夹具上排列由一组条带探针，用于一次探测多个激光二极管芯片。

本实用新型以条带型的探针去替代传统的探针，去提供激光二极管光电属性检测过程所需要的电流(电压)，由于下针方式和接触面积的改变，对检测设备的位置精准度降低了要求，保护了激光二极管上的电极垫，延长了探针的使用寿命。从设备、材料(耗材)、以及制程工艺上为激光二极管芯片的制造和检测降低了成本。

除了上面所描述的目的、特征和优点之外，本实用新型还有其它的目的、特征和优点。下面将参照图，对本实用新型作进一步详细的说明。

附图说明

构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1是传统的使用针型探针进行激光二极管芯片光电属性检测的平面示意图；