[实用新型]一种激光二极管芯片光电属性检测装置有效
申请号: | 201821700128.9 | 申请日: | 2018-10-19 |
公开(公告)号: | CN209055636U | 公开(公告)日: | 2019-07-02 |
发明(设计)人: | 朱干军;张家尧 | 申请(专利权)人: | 义乌臻格科技有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28 |
代理公司: | 合肥市上嘉专利代理事务所(普通合伙) 34125 | 代理人: | 叶洋军;郭华俊 |
地址: | 322009 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 探针 条带 激光二极管 激光二极管芯片 夹具 属性检测装置 本实用新型 升降机构 面电极 脊顶 方向正交 检测设备 接触压力 使用寿命 属性检测 弯曲形变 位置精准 传统的 从设备 电极垫 金电极 固连 耗材 夹持 图层 下针 制程 替代 延伸 | ||
1.一种激光二极管芯片光电属性检测装置,其特征在于,包括一维升降机构、夹具、和条带探针,其中,所述夹具固连至一维升降机构,用于夹持弧形的条带探针,
其中,所述条带探针自身呈弧形或弯曲成弧形,以与激光二极管脊顶面电极的延伸方向正交的方式,水平下降至与脊顶面电极的金电极图层接触的位置,由条带探针的弯曲形变提供接触压力。
2.根据权利要求1所述的激光二极管芯片光电属性检测装置,其特征在于,还包括用于检测条带探针升降位移的测距装置。
3.根据权利要求1所述的激光二极管芯片光电属性检测装置,其特征在于,所述条带探针的宽度为百微米级。
4.根据权利要求1所述的激光二极管芯片光电属性检测装置,其特征在于,所述夹具上排列由一组条带探针,用于一次探测多个激光二极管芯片。
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