[实用新型]一种芯片打磨装置有效

专利信息
申请号: 201821695728.0 申请日: 2018-10-18
公开(公告)号: CN209266359U 公开(公告)日: 2019-08-16
发明(设计)人: 周群飞;黄义森 申请(专利权)人: 蓝思科技(长沙)有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/68
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 罗满
地址: 410100 湖南省长*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: 打磨 打磨件 定位座 打磨装置 工件打磨 芯片 相对定位 移动 本实用新型 可滑动地 良品率 人工的 放入 保证 达标 技能 替代
【权利要求书】:

1.一种芯片打磨装置,其特征在于,包括:

用于对工件进行定位的定位座(1),所述定位座(1)设有用于与所述工件的形状相契合以卡住所述工件的定位部;

可滑动地设于所述定位座(1)、用于对所述工件的打磨部位进行打磨的打磨件(2),所述打磨件的一端为用于与所述打磨部位线接触的弧形结构。

2.根据权利要求1所述的芯片打磨装置,其特征在于,所述打磨件(2)的数量为两个,两个所述打磨件(2)的打磨方向一致,以分别对所述工件相对的两个打磨部位进行打磨。

3.根据权利要求2所述的芯片打磨装置,其特征在于,两个所述打磨件(2)通过连接块(3)相连,以使两个所述打磨件(2)能够同步移动。

4.根据权利要求3所述的芯片打磨装置,其特征在于,所述定位座(1)设有两条平行的直线导轨(11),所述连接块(3)的两端分别通过滑块(12)与所述直线导轨(11)可滑动地连接。

5.根据权利要求4所述的芯片打磨装置,其特征在于,所述连接块(3)的两端分别通过过渡块(4)与所述滑块(12)相连,所述连接块(3)与所述过渡块(4)之间设有至少一个用于调整所述打磨件(2)的高度位置以防止所述打磨件(2)卡死的弹性件。

6.根据权利要求5所述的芯片打磨装置,其特征在于,所述弹性件为弹簧,所述连接块(3)和所述过渡块(4)的对应位置分别设有用于设置所述弹簧的两端的凹槽。

7.根据权利要求6所述的芯片打磨装置,其特征在于,所述连接块(3)的两端分别通过三个所述弹簧与所述过渡块(4)相连,位于所述连接块(3)同一端的三个所述弹簧沿所述打磨件(2)的打磨方向共线。

8.根据权利要求1-7任一项所述的芯片打磨装置,其特征在于,所述打磨件(2)包括金属布。

9.根据权利要求8所述的芯片打磨装置,其特征在于,所述打磨件(2)与用于驱动所述打磨件(2)移动的驱动件相连,所述驱动件与用于控制所述驱动件启停的控制装置相连。

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