[实用新型]一种芯片打磨装置有效
申请号: | 201821695728.0 | 申请日: | 2018-10-18 |
公开(公告)号: | CN209266359U | 公开(公告)日: | 2019-08-16 |
发明(设计)人: | 周群飞;黄义森 | 申请(专利权)人: | 蓝思科技(长沙)有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/68 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 罗满 |
地址: | 410100 湖南省长*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 打磨 打磨件 定位座 打磨装置 工件打磨 芯片 相对定位 移动 本实用新型 可滑动地 良品率 人工的 放入 保证 达标 技能 替代 | ||
1.一种芯片打磨装置,其特征在于,包括:
用于对工件进行定位的定位座(1),所述定位座(1)设有用于与所述工件的形状相契合以卡住所述工件的定位部;
可滑动地设于所述定位座(1)、用于对所述工件的打磨部位进行打磨的打磨件(2),所述打磨件的一端为用于与所述打磨部位线接触的弧形结构。
2.根据权利要求1所述的芯片打磨装置,其特征在于,所述打磨件(2)的数量为两个,两个所述打磨件(2)的打磨方向一致,以分别对所述工件相对的两个打磨部位进行打磨。
3.根据权利要求2所述的芯片打磨装置,其特征在于,两个所述打磨件(2)通过连接块(3)相连,以使两个所述打磨件(2)能够同步移动。
4.根据权利要求3所述的芯片打磨装置,其特征在于,所述定位座(1)设有两条平行的直线导轨(11),所述连接块(3)的两端分别通过滑块(12)与所述直线导轨(11)可滑动地连接。
5.根据权利要求4所述的芯片打磨装置,其特征在于,所述连接块(3)的两端分别通过过渡块(4)与所述滑块(12)相连,所述连接块(3)与所述过渡块(4)之间设有至少一个用于调整所述打磨件(2)的高度位置以防止所述打磨件(2)卡死的弹性件。
6.根据权利要求5所述的芯片打磨装置,其特征在于,所述弹性件为弹簧,所述连接块(3)和所述过渡块(4)的对应位置分别设有用于设置所述弹簧的两端的凹槽。
7.根据权利要求6所述的芯片打磨装置,其特征在于,所述连接块(3)的两端分别通过三个所述弹簧与所述过渡块(4)相连,位于所述连接块(3)同一端的三个所述弹簧沿所述打磨件(2)的打磨方向共线。
8.根据权利要求1-7任一项所述的芯片打磨装置,其特征在于,所述打磨件(2)包括金属布。
9.根据权利要求8所述的芯片打磨装置,其特征在于,所述打磨件(2)与用于驱动所述打磨件(2)移动的驱动件相连,所述驱动件与用于控制所述驱动件启停的控制装置相连。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造