[实用新型]吸附装置以及蒸镀设备

权利要求书

1.一种吸附装置，用于吸附金属掩膜版，其特征在于，所述吸附装置包括：

至少一个第一磁铁；

与所述第一磁铁一一对应的第二磁铁；

驱动结构，与所述第二磁铁连接，用于驱动所述第二磁铁运动，以使所述第二磁铁能够在与所述第一磁铁并排且磁性方向相同的位置或者与所述第一磁铁并排且磁性方向相反的位置间转换，所述磁性方向为由磁铁的N极指向S极的方向。

2.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，还包括：

第一底板，所述第一磁铁固定在所述第一底板的一个表面上，所述第一磁铁与所述第二磁铁设于所述第一底板同一侧。

3.根据权利要求2所述的吸附装置，其特征在于，

所述第二磁铁设于所述第一磁铁远离所述第一底板的一侧；

所述第一磁铁和第二磁铁的磁性方向均平行于所述第一底板，所述驱动结构用于驱动所述第二磁铁在平行于所述第一底板的面内转动，以改变所述第二磁铁的磁性方向。

4.根据权利要求3所述的吸附装置，其特征在于，所述驱动结构包括：

第一轴，与所述第二磁铁固定连接，所述第一轴的轴线垂直于所述第一底板且穿过所述第二磁铁的中心，所述第一轴能绕其轴线转动。

5.根据权利要求4所述的吸附装置，其特征在于，所述第一磁铁和所述第二磁铁均有多个且阵列排布；

所述驱动结构还包括：

多个第一连接杆，与所述第一底板平行，每个所述第一连接杆的第一端固定连接在一个所述第一轴远离所述第二磁铁的一端；

多个第二连接杆，平行于所述第一底板，每个第二连接杆沿行方向设置，且与同行的多个所述第一连接杆的第二端转动连接；

第二轴，能绕自身的轴线转动，在列方向上，所述第二轴的每侧均有多个所述第二连接杆；

至少两个第三连接杆，每个所述第三连接杆与在列方向上位于所述第二轴同侧的全部所述第二连接杆固定连接；

两个第四连接杆，每个所述第四连接杆的一端与所述第二轴的外侧面转动连接，另一端与一个所述第二连接杆转动连接。

6.根据权利要求5所述的吸附装置，其特征在于，所述驱动结构还包括：

第二底板，与所述第一底板相对设置，且所述第一磁铁和所述第二磁铁位于所述第一底板与所述第二底板之间；

所述第二底板具有通孔，所述第一轴可转动的穿过所述通孔。

7.根据权利要求6所述的吸附装置，其特征在于，所述第一连接杆、第二连接杆、第三连接杆、第四连接杆均设于所述第二底板远离所述第一底板一侧。

8.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，所述第一磁铁和所述第二磁铁均有多个。

9.根据权利要求8所述的吸附装置，其特征在于，所有的所述第一磁铁的磁性方向相同。

10.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，所述第一磁铁和所述第二磁铁均为永磁铁。

11.一种蒸镀设备，其特征在于，包括权利要求1-10中任意之一的吸附装置。