[实用新型]吸附装置以及蒸镀设备

说明书

本实用新型提供一种吸附装置以及蒸镀设备，属于蒸镀技术领域，其可至少部分解决现有的吸附装置在拆卸金属掩膜版时容易对金属掩膜版造成损坏的问题。本实用新型的一种吸附装置，用于吸附金属掩膜版，吸附装置包括：至少一个第一磁铁；与第一磁铁一一对应的第二磁铁；驱动结构，与第二磁铁连接，用于驱动第二磁铁运动，以使第二磁铁能够在与第一磁铁并排且磁性方向相同的位置或者与第一磁铁并排且磁性方向相反的位置间转换，磁性方向为由磁铁的N极指向S极的方向。

技术领域

本实用新型属于蒸镀技术领域，具体涉及一种吸附装置以及蒸镀设备。

背景技术

有机发光二极管(OLED)显示器因其具有自发光、轻薄、功耗低、高对比度、高色域、可实现柔性显示等优点，已被广泛地应用于包括电脑、手机等电子产品在内的各种电子设备中。

OLED显示器生产过程中需要通过与OLED发光显示单元精度相适应的掩膜版组件将有机层蒸镀到基板上，形成OLED发光显示单元。现有技术的蒸镀过程中，一般采用基板夹在磁隔板(吸附装置)与金属掩膜版之间的方式固定金属掩膜版与基板，而磁隔板吸附金属掩膜版以使其与基板紧密接触。

然而，当需要将金属掩膜版从磁隔板上拆卸下时，由于磁隔板的磁力是一定的，磁隔板的磁力会导致金属掩膜版变形而损坏金属掩膜版，从而会增加制造成本，造成不必要的资源浪费。

实用新型内容

本实用新型至少部分解决现有的吸附装置在拆卸金属掩膜版时容易对金属掩膜版造成损坏的问题，提供一种在安装或者拆卸金属掩膜版时不会损坏金属掩膜版的吸附装置。

解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是一种吸附装置，用于吸附金属掩膜版，所述吸附装置包括：

至少一个第一磁铁；

与所述第一磁铁一一对应的第二磁铁；

驱动结构，与所述第二磁铁连接，用于驱动所述第二磁铁运动，以使所述第二磁铁能够在与所述第一磁铁并排且磁性方向相同的位置或者与所述第一磁铁并排且磁性方向相反的位置间转换，所述磁性方向为由磁铁的N极指向S极的方向。

进一步优选的是，该吸附装置还包括：第一底板，所述第一磁铁固定在所述第一底板的一个表面上，所述第一磁铁与所述第二磁铁设于所述第一底板同一侧。

进一步优选的是，所述第二磁铁设于所述第一磁铁远离所述第一底板的一侧；所述第一磁铁和第二磁铁的磁性方向均平行于所述第一底板，所述驱动结构用于驱动所述第二磁铁在平行于所述第一底板的面内转动，以改变所述第二磁铁的磁性方向。

进一步优选的是，所述驱动结构包括：第一轴，与所述第二磁铁固定连接，所述第一轴的轴线垂直于所述第一底板且穿过所述第二磁铁的中心，所述第一轴能绕其轴线转动。

进一步优选的是，所述第一磁铁和所述第二磁铁均有多个且阵列排布；所述驱动结构还包括：多个第一连接杆32，与所述第一底板平行，每个所述第一连接杆32的第一端固定连接在一个所述第一轴远离所述第二磁铁的一端；多个第二连接杆，平行于所述第一底板，每个第二连接杆沿行方向设置，且与同行的多个所述第一连接杆32的第二端转动连接；第二轴，能绕自身的轴线转动，在列方向上，所述第二轴的每侧均有多个所述第二连接杆；至少两个第三连接杆，每个所述第三连接杆与在列方向上位于所述第二轴同侧的全部所述第二连接杆固定连接；两个第四连接杆，每个所述第四连接杆的一端与所述第二轴的外侧面转动连接，另一端与一个所述第二连接杆转动连接。

进一步优选的是，所述驱动结构还包括：第二底板，与所述第一底板相对设置，且所述第一磁铁和所述第二磁铁位于所述第一底板与所述第二底板之间；所述第二底板具有通孔，所述第一轴可转动的穿过所述通孔。

进一步优选的是，所述第一连接杆、第二连接杆、第三连接杆、第四连接杆均设于所述第二底板远离所述第一底板一侧。