[实用新型]研磨夹具及研磨装置

权利要求书

1.一种研磨夹具，其特征在于，包括：固定部和多个限位销，所述固定部包括有相对设置的第一表面和第二表面，多个所述限位销均匀排布在所述第一表面的周缘并向远离所述第一表面的方向延伸，待夹持物放置在所述第一表面上的由多个所述限位销围合的区域内，所述第二表面的几何中心设置有容置孔，用于与研磨设备连接。

2.如权利要求1所述的研磨夹具，其特征在于，所述研磨夹具还包括插芯，所述插芯设置在所述容置孔中，用于与所述研磨设备的动力输出端连接。

3.如权利要求1或2所述的研磨夹具，其特征在于，所述第一表面上设置有与所述待夹持物相配合的凹陷结构。

4.如权利要求1或2所述的研磨夹具，其特征在于，所述固定部为圆柱形，所述第一表面和所述第二表面分别为所述圆柱形的顶面和底面。

5.如权利要求2所述的研磨夹具，其特征在于，所述插芯与所述容置孔可拆卸连接。

6.如权利要求2或5所述的研磨夹具，其特征在于，所述插芯为柱状结构，且沿中心轴在所述柱状结构远离所述容置孔的平面上设置有对所述研磨设备动力输出端定位的定位孔。

7.如权利要求1所述的研磨夹具，其特征在于，所述限位销与所述固定部之间为螺纹紧固连接。

8.一种研磨装置，其特征在于，包括工件盘、研磨盘、插针、驱动组件和如权利要求1～7任一项的研磨夹具，所述工件盘用于放置待研磨工件，所述工件盘设置在所述研磨夹具的待夹持物放置位置，所述工件盘与所述研磨盘摩擦连接，所述插针的一端与所述驱动组件连接、另一端与所述研磨夹具连接。

9.如权利要求8所述的研磨装置，其特征在于，所述研磨装置还包括配重盘，所述配重盘设置在所述驱动组件上，用于增加研磨装置研磨时的摩擦力。

10.如权利要求9所述的研磨装置，其特征在于，所述配重盘设置在所述驱动组件与所述插针连接的杆件上。