[实用新型]一种电磁铁驱动的半导体晶圆测试针

说明书

本实用新型涉及一种电磁铁驱动的半导体晶圆测试针，包括电磁铁、支撑架、自锁紧抓手、绝缘安装块、弹簧探针。电磁铁固定在支撑架上，绝缘安装块两端分别安装电磁铁和自锁紧抓手，弹簧探针用自锁紧抓手固定并穿过支撑架的导向孔。通过给电磁铁通电、断电可以控制电磁铁带动弹簧探针下降和上升，从而达到测试过程中弹簧探针与半导体晶圆接触，非测试状态下探针与半导体晶圆分离的目的。

技术领域

本实用新型专利涉及一种电磁铁驱动的半导体晶圆测试针，用电磁铁驱动探针上下运动的方式替代了Z轴带动半导体晶圆上下运动的方式，简化了设备结构，提高了运行效率。

背景技术

探针台是一种广泛应用于测试半导体晶圆的设备，传统的探针台具有X、Y、Z三轴。X、Y轴用于移动半导体晶圆使待测单元位于探针下方，Z轴用于抬升或者降低半导体晶圆，以保证测试时探针与半导体晶圆接触，X、Y轴移动时探针与半导体晶圆分离。

对于一些结构比较简单的半导体元件，比如二极管或者晶振，它们只有两个极，并且两极位于元件的两端，这样测试时只需要搭载半导体晶圆的部件接触一极，一只探针接触另外一极就可以进行测试了。这种情况下传统的Z轴结构就显得过于复杂，成本高昂并且效率低下。

发明内容

鉴于上述现状，本实用新型的目的是提供一种电磁铁驱动的半导体晶圆测试针，用电磁铁带动探针上下移动的方式来取代用Z轴带动半导体晶圆上下移动的方式，以简化结构和提高效率。

为实现上述目的，本实用新型的技术解决方案是，一种电磁铁驱动的半导体晶圆测试针，包括：一个支撑架，所述支撑架为倒F型结构，底部具有探针导向孔并且可以固定电磁铁；一个电磁铁，固定在支撑架上，所述电磁铁具有一个伸缩杆，通电时伸缩杆伸长，断电时伸缩杆缩短；一个绝缘安装块，安装在所述电磁铁的伸缩杆上，并且随所述电磁铁伸缩杆的移动而移动，所述绝缘安装块靠近所述支撑架的一端为平面，可以防止绝缘安装块转动；一个自锁紧抓手，安装在所述绝缘安装块的另一端，所述自锁紧抓手具有螺纹式自锁紧结构，转动螺帽可以使抓手抓紧或者放松，用来装卸探针；一个弹簧探针，安装在自锁紧抓手上，并且针头部分穿过所述支撑架底部的探针导向孔，所述弹簧探针由针头、弹簧、针管构成，在弹簧的作用下，所述弹簧探针可以伸长或者缩短。

由所述绝缘安装块、自锁紧抓手、弹簧探针所组成的结构可随所述电磁铁伸缩杆一起运动，通电时探针伸出，断电时探针缩回。

所述支撑架底部的探针导向孔孔径应比所述探针针头部分的直径略大，使所述弹簧探针针头部分刚好穿过探针导向孔可以伸缩运动却不会晃动，以保证所述弹簧探针每次伸长时针尖都在固定位置。

本实用新型具有创新点在于，1：使用电磁铁代替了结构复杂的Z轴结构，不但降低了设备成本，由于运动同样的距离，电磁铁的速度远快于步进电机驱动丝杠的速度，所以也提高了效率；2：使用可伸缩的弹簧探针，使测试时探针与半导体晶圆的接触压力得到缓冲，避免了对测试产品的损坏且消除了电磁铁精度不足所带来的影响；3：由于探针与半导体晶圆接触时有磨损，需要经常更换，使用自锁紧抓手，使得更换探针变得非常方便。

附图说明

图1为电磁铁驱动的半导体晶圆测试针整体结构示意图。

具体实施方式