[实用新型]一种电磁铁驱动的半导体晶圆测试针有效
| 申请号： | 201821639601.7 | 申请日： | 2018-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN209086291U | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 刘烽;郭云静 | 申请（专利权）人： | 河北西五科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 066000 河北省秦皇岛市经*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电磁铁 半导体晶圆 弹簧探针 支撑架 自锁紧 抓手 电磁铁驱动 绝缘安装块 测试针 探针 本实用新型 控制电磁铁 测试过程 测试状态 导向孔 中弹簧 断电 通电 穿过 | ||
1.一种电磁铁驱动的半导体晶圆测试针，其特征在于：包括：支撑架(1)、电磁铁(2)、绝缘安装块(3)、自锁紧抓手(4)、弹簧探针(5)；其中电磁铁(2)固定在支撑架(1)上，绝缘安装块(3)安装在电磁铁(2)的伸缩杆上，自锁紧抓手(4)安装在绝缘安装块(3)的另一端，弹簧探针(5)安装在自锁紧抓手(4)上。
2.根据权利要求1所述的电磁铁驱动的半导体晶圆测试针，其特征在于：所述的支撑架(1)为倒F型，其中间具有螺纹结构，用来安装电磁铁(2)，其底部具有探针导向孔，孔的大小与弹簧探针(5)的直径相当，可以防止弹簧探针(5)晃动。
3.根据权利要求1所述的一种电磁铁驱动的半导体晶圆测试针，其特征在于：所述的电磁铁(2)具有伸缩杆，通电时伸缩杆伸出，断电时伸缩杆缩回。
4.根据权利要求1所述的一种电磁铁驱动的半导体晶圆测试针，其特征在于：所述的绝缘安装块(3)为半圆柱形结构，其平面的一端靠近支撑架(1)以防止转动；绝缘安装块(3)两端均有螺纹安装孔，一端用来安装电磁铁(2)的伸缩杆，另一端用来安装自锁紧抓手(4)。
5.根据权利要求1所述的一种电磁铁驱动的半导体晶圆测试针，其特征在于：所述的自锁紧抓手(4)为金属结构，通过转动头部的螺纹结构，可以使抓手抓紧或者放松，以固定或者松开弹簧探针(5)，同时自锁紧抓手(4)可以焊接导线，用来连接测试仪。
6.根据权利要求1所述的一种电磁铁驱动的半导体晶圆测试针，其特征在于：所述的弹簧探针(5)为可伸缩结构，与半导体晶圆接触一端受到压力时可缩短，压力消失则恢复。
7.根据权利要求1所述的一种电磁铁驱动的半导体晶圆测试针，其特征在于：所述的绝缘安装块(3)通过绝缘安装块安装到一起的电磁铁(2)和自锁紧抓手(4)相互绝缘。
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