[实用新型]一种硅片清洗用送料装置有效
| 申请号： | 201821628505.2 | 申请日： | 2018-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN208655607U | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 周尤;韦树喜;韦海玉 | 申请（专利权）人： | 河北万维克林精密设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 杨玉廷 |
| 地址： | 065400 河北省廊坊市香河县香河经济开发区运*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 送料臂 推杆 滑块 气缸 硅片清洗 送料装置 连接杆 弹簧 挂杆 篮筐 托杆 外壁 本实用新型 紧密贴合 两侧设置 气缸带动 下压滑块 活动杆 清洗机 通孔 挤压 脱离 | ||
1.一种硅片清洗用送料装置，其特征在于：包括清洗机(7)和连接杆(15)，所述连接杆(15)与活动杆(9)连接，连接杆(15)外壁套设有滑块(14)，所述滑块(14)上连接有第二推杆(13)，第二推杆(13)上连接有第一气缸(4)，且滑块(14)两侧设置有弹簧(12)，弹簧(12)一端与第一推杆(11)相连接，第一推杆(11)一侧套设在送料臂(10)的外壁，所述送料臂(10)上连接有第二气缸(16)，送料臂(10)下方与挂杆(17)相连接，送料臂(10)上开设有通孔，且挂杆(17)上连接有第二气缸(16)。
2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗用送料装置，其特征在于：所述清洗机(7)上设置有清洗池(8)、固定杆(6)、驱动电机(1)和丝杆(5)，且丝杆(5)一侧连接有驱动电机(1)，丝杆(5)上螺纹连接有套筒(3)，并且套筒(3)通过焊接与液压伸缩杆(2)相连接，液压伸缩杆(2)上开设有通孔。
3.根据权利要求1所述的一种硅片清洗用送料装置，其特征在于：所述活动杆(9)的左右两端分别设置有一个液压伸缩杆(2)，且液压伸缩杆(2)分别与套筒(3)和固定杆(6)连接，液压伸缩杆(2)套设在固定杆(6)的外壁。
4.根据权利要求1所述的一种硅片清洗用送料装置，其特征在于：所述送料臂(10)关于连接杆(15)的轴心线呈左右对称分布，且送料臂(10)与第一推杆(11)相垂直。
5.根据权利要求1所述的一种硅片清洗用送料装置，其特征在于：所述送料臂(10)下端铰接有挂杆(17)，送料臂(10)顶部套设在活动杆(9)的外壁。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
