[实用新型]双层加热腔室和双层加热腔体组件

权利要求书

1.一种双层加热腔室，用于原子层沉积装置，其特征在于，包括第一腔体和第二腔体，所述第一腔体内至少固定容置有1个所述第二腔体，所述第一腔体和所述第二腔体的内壁间隔设置，

所述第一腔体内铺设有加热管，所述加热管包围所述第二腔体。

2.根据权利要求1所述的双层加热腔室，其特征在于，所述第一腔体和所述第二腔体在同一方向上开设有进出口。

3.根据权利要求1所述的双层加热腔室，其特征在于，所述第一腔体形成2个子腔体，所述子腔体互不连通，每个所述子腔体内容置有2个所述第二腔体，所述第二腔体相互间隔。

4.根据权利要求1所述的双层加热腔室，其特征在于，所述第一腔体内的底部设置有架板，所述加热管铺设在所述架板上，所述第二腔体底部设置有支撑脚，所述支撑脚固定连接所述架板，所述第二腔体和所述架板间隔。

5.根据权利要求1所述的双层加热腔室，其特征在于，所述加热管呈多组阵列设置，每组加热管呈连续U型。

6.根据权利要求1所述的双层加热腔室，其特征在于，所述第一腔体和所述第二腔体之间设置有多个测温区，所述测温区均匀分布在所述第一腔体和所述第二腔体之间，所述测温区内设置有温度监控元件。

7.一种双层加热腔体组件，用于原子层沉积装置，其特征在于，包括如权利要求1-6任一项所述的双层加热腔室和门体组件，所述第一腔体和所述第二腔体在同一方向上开设有进出口，所述门体组件上固定设置有载料舟，

所述门体组件通过所述进出口可移动地设置在所述第一腔体中，所述载料舟位于所述第二腔体中。

8.根据权利要求7所述的双层加热腔体组件，其特征在于，所述门体组件、所述第一腔体和所述第二腔体之前形成密封空间。