[实用新型]一种紧凑型高速光电二极管

权利要求书

1.一种紧凑型高速光电二极管，包括衬底(1)，以及形成于所述衬底(1)上的正电极环(13)、负电极环(12)、正电极(15)和负电极(14)，其特征在于，所述负电极环(12)上设置有开口，所述负电极(14)与所述负电极环(12)的一端连接；所述正电极环(13)设于负电极环(12)内；所述正电极(15)通过所述开口与所述正电极环(13)连接；所述正电极(15)和负电极(14)位于所述负电极环(12)的同一侧。

2.根据权利要求1所述的一种紧凑型高速光电二极管，其特征在于，所述正电极(15)和负电极(14)均为圆形，所述正电极(15)和负电极(14)的圆心距离小于所述负电极环(12)的直径。

3.根据权利要求2所述的一种紧凑型高速光电二极管，其特征在于，所述正电极(15)和负电极(14)的直径均大于50um且小于80um。

4.根据权利要求1所述的一种紧凑型高速光电二极管，其特征在于，所述正电极环(13)与负电极环(12)同心设置，所述正电极环(13)的环宽度小于等于10um，外径小于70um；所述负电极环(12)的环宽度小于等于10um；所述正电极环(13)的外径与负电极环(12)的内径的距离大于5um且小于20um。

5.根据权利要求1所述的一种紧凑型高速光电二极管，其特征在于，还包括：形成于所述衬底(1)上的缓冲层(2)，形成于所述缓冲层(2)上的吸收层(3)，形成于所述吸收层(3)上的顶层(4)，形成于所述顶层(4)上的接触层(5)，形成于所述顶层(4)上的有源区(7)，形成于所述顶层(4)上的第一复合钝化膜(6)，以及形成于所述衬底(1)、缓冲层(2)、吸收层(3)、顶层(4)、第一复合钝化膜(6)和有源区(7)上的增透膜(9)。

6.根据权利要求5所述的一种紧凑型高速光电二极管，其特征在于，所述负电极环(12)形成于所述缓冲层(2)上，所述负电极(14)形成于所述增透膜(9)和负电极环(12)上，所述正电极环(13)形成于所述接触层(5)上，所述正电极(15)形成于所述增透膜(9)和正电极环(13)上。

7.根据权利要求5所述的一种紧凑型高速光电二极管，其特征在于，所述衬底(1)的厚度大于2um，所述缓冲层(2)的厚度大于2um且小于5um，所述吸收层(3)的厚度大于0.5um且小于3um，所述顶层(4)的厚度大于0.5um且小于2um，所述接触层(5)的厚度大于0.1um且小于0.5um。

8.根据权利要求5所述的一种紧凑型高速光电二极管，其特征在于，所述第一复合钝化膜(6)的厚度大于0.1um且小于1um。

9.根据权利要求5所述的一种紧凑型高速光电二极管，其特征在于，所述增透膜(9)的厚度大于0.1um且小于0.5um。

10.根据权利要求5所述的一种紧凑型高速光电二极管，其特征在于，所述有源区(7)的形状为圆形，其直径大于20um且小于40um，所述有源区(7)的厚度大于1um且小于1.5um。

11.根据权利要求1所述的一种紧凑型高速光电二极管，其特征在于，还包括：形成于所述衬底(1)底部的焊接层(11)。

12.根据权利要求5所述的一种紧凑型高速光电二极管，其特征在于，所述吸收层(3)、顶层(4)和接触层(5)形成正电极圆柱形台面结构，所述缓冲层(2)形成负电极圆柱形台面结构；

所述正电极圆柱形台面、负电极圆柱形台面和有源区(7)同心设置。