[实用新型]一种基片固定装置

说明书

本实用新型提供了一种基片固定装置，其包括载板、基片、压紧装置以及用于固定载板与压紧装置的锁紧装置，载板的一面上设有用于容纳基片的安装凹槽，压紧装置包括顶板、压片以及弹性件，顶板的一面上设置有与安装凹槽大小相对应的凸台，弹性件设置在凸台与压片之间；压紧装置通过压片将基片压紧在安装凹槽内；安装凹槽处设有与凸台的顶面相挡接的限位台阶面。本实用新型的基片固定装置，其顶板与压片之间设置有弹性件，使得载板上的基片受到的压力能够得到较好地缓冲，降低碎片率；同时通过安装凹槽处的限位台阶面与顶板上的凸台的顶面相挡接，能够对顶板进行较好地限位，有效地避免了顶板继续下压，大大地降低了因基片被过度压紧而造成的碎片率。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，具体涉及一种基片固定装置。

背景技术

随着世界能源的逐渐减少，清洁能源、可再生资源将变为社会主流能源，也促进了相应行业的迅速发展，太阳能行业也是发展越来越快，物理气相沉积(简称PVD)镀膜是太阳能电池生产的重要环节，PVD技术其具体原理是，在真空条件下，采用低电压、大电流的电弧放电技术，利用气体放电使靶材蒸发，使被蒸发物质与气体都发生电离，利用电场的加速作用，使被蒸发物质及反应物质沉积在工件上形成一层薄膜。

在卧式PVD镀膜过程中，基片水平通过腔体，利用传动机构匀速运动，阴极是从下至上或从上至下溅射镀膜。为了提高产能，在太阳能行业一般采用多基片进多基片出同时镀膜的方法。现市面上通常采用单基片压块的方法再用转杆固定，但是此种方法对基片压紧时没有缓冲，导致基片的碎片率较高。因此，如何设计一种基片固定装置，压紧基片的同时还能降低碎片率成为本领域技术人员急需解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种基片固定装置，以解决现有技术中碎片率较高的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

一种基片固定装置，其包括载板、基片、压紧装置以及用于固定所述载板与所述压紧装置的锁紧装置，所述载板的一面上设置有用于容纳所述基片的安装凹槽，所述压紧装置包括顶板、压片以及弹性件，所述顶板的一面上设置有与所述安装凹槽大小相对应的凸台，所述弹性件设置在所述凸台与所述压片之间；所述压紧装置通过所述压片将所述基片压紧在所述安装凹槽内；所述安装凹槽处设置有与所述凸台的顶面相挡接的限位台阶面。

优选地，所述凸台的顶面上设置有安装盲孔，所述弹性件的一端与所述安装盲孔的孔底相连，所述弹性件的另一端与所述压片相连。

优选地，所述安装盲孔的个数至少为一个，各所述安装盲孔均匀分布在所述凸台的顶面上；所述弹性件的个数与所述安装盲孔的个数相对应，各所述弹性件与各所述安装盲孔一一对应配合。

优选地，所述压片的一面的中部位置设置有压片凹槽。

优选地，所述载板的一面上均布有至少一个所述安装凹槽，所述顶板的一面上均布的所述凸台的个数与所述安装凹槽的个数相对应，各所述安装凹槽与各所述凸台一一对应配合。

优选地，所述锁紧装置包括锁紧轴、锁紧钩、扭簧以及固定装置，所述锁紧钩的一端具有钩状结构；所述顶板的另一面上设置有顶面凹槽，所述顶板的侧壁上设置有与所述顶面凹槽相连通的容纳槽，所述载板的另一面上设置有与所述钩状结构相配合的限位槽；所述锁紧轴的两端分别通过所述固定装置与所述容纳槽的两侧相连，所述锁紧钩与所述锁紧轴转动配合；所述扭簧套装在所述锁紧轴上，所述扭簧的一端与所述顶面凹槽的槽底相连，所述扭簧的另一端与所述锁紧钩上远离所述钩状结构的一端相连。

优选地，所述锁紧钩上设置有与所述锁紧轴的外圆周面相配合的半圆形槽。