[实用新型]一种基片固定装置

权利要求书

1.一种基片固定装置，其包括载板、基片、压紧装置以及用于固定所述载板与所述压紧装置的锁紧装置，所述载板的一面上设置有用于容纳所述基片的安装凹槽，其特征在于，所述压紧装置包括顶板、压片以及弹性件，所述顶板的一面上设置有与所述安装凹槽大小相对应的凸台，所述弹性件设置在所述凸台与所述压片之间；所述压紧装置通过所述压片将所述基片压紧在所述安装凹槽内；所述安装凹槽处设置有与所述凸台的顶面相挡接的限位台阶面。

2.根据权利要求1所述的基片固定装置，其特征在于，所述凸台的顶面上设置有安装盲孔，所述弹性件的一端与所述安装盲孔的孔底相连，所述弹性件的另一端与所述压片相连。

3.根据权利要求2所述的基片固定装置，其特征在于，所述安装盲孔的个数至少为一个，各所述安装盲孔均匀分布在所述凸台的顶面上；所述弹性件的个数与所述安装盲孔的个数相对应，各所述弹性件与各所述安装盲孔一一对应配合。

4.根据权利要求3所述的基片固定装置，其特征在于，所述压片的一面的中部位置设置有压片凹槽。

5.根据权利要求4所述的基片固定装置，其特征在于，所述载板的一面上均布有至少一个所述安装凹槽，所述顶板的一面上均布的所述凸台的个数与所述安装凹槽的个数相对应，各所述安装凹槽与各所述凸台一一对应配合。

6.根据权利要求1-5任一项所述的基片固定装置，其特征在于，所述锁紧装置包括锁紧轴、锁紧钩、扭簧以及固定装置，所述锁紧钩的一端具有钩状结构；所述顶板的另一面上设置有顶面凹槽，所述顶板的侧壁上设置有与所述顶面凹槽相连通的容纳槽；所述载板的另一面上设置有与所述钩状结构相配合的限位槽；所述锁紧轴的两端分别通过所述固定装置与所述容纳槽的两侧相连，所述锁紧钩与所述锁紧轴转动配合；所述扭簧套装在所述锁紧轴上，所述扭簧的一端与所述顶面凹槽的槽底相连，所述扭簧的另一端与所述锁紧钩上远离所述钩状结构的一端相连。

7.根据权利要求6所述的基片固定装置，其特征在于，所述锁紧钩上设置有与所述锁紧轴的外圆周面相配合的半圆形槽。

8.根据权利要求7所述的基片固定装置，其特征在于，所述固定装置为安装板，所述安装板包括第一板和第二板，所述第一板和所述第二板垂直相连并构成L型结构；所述第一板上设置有与所述锁紧轴的外圆周面相配合的第一弧形槽，所述容纳槽的侧壁上设置有与所述锁紧轴的外圆周面相配合的第二弧形槽，所述第一弧形槽与所述第二弧形槽共同围成与所述锁紧轴相匹配的圆孔；所述第二板与所述顶板的另一面相连。

9.根据权利要求1所述的基片固定装置，其特征在于，所述锁紧装置的个数至少为两个，各所述锁紧装置均匀分布在所述顶板的四周。

10.根据权利要求1所述的基片固定装置，其特征在于，所述弹性件为弹簧。