[实用新型]提纯三氯氢硅的装置有效
| 申请号： | 201821591464.4 | 申请日： | 2018-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN209242692U | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 刘见华;赵雄;万烨;严大洲;赵宇;常欣 | 申请（专利权）人： | 洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 韩建伟;金田蕴 |
| 地址： | 471023 河南省*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 三氯氢硅 甲基二氯硅烷 本实用新型 固液分离器 四氯化硅 反应器 提纯 反应液体产物 甲基三氯硅烷 反歧化反应 反应精馏 固液分离 歧化反应 高沸点 精馏塔 络合物 微量氧 高纯 精馏 脱除 催化剂 催化 氧气 转化 引入 应用 | ||
1.一种提纯三氯氢硅的装置，其特征在于，包括：
反应器，用于含甲基二氯硅烷的三氯氢硅原料与四氯化硅和氧气在催化剂的催化下进行歧化反应，
固液分离器，用于将从所述反应器中排出的反应产物进行固液分离，以及
精馏塔，用于将从所述固液分离器中排出的反应液体产物脱除杂质、轻组分和重组分。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述反应器设置有催化剂加入口，所述固液分离器设置有固体排出口，且所述固液分离器的固体排出口与所述反应器的催化剂加入口相连通。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述反应器为微通道连续流反应器，所述微通道连续流反应器的通道直径为100～200微米。
4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述反应器包括反应区域以及设置在所述反应区域周围的换热夹层。
5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述反应器为玻璃、碳化硅、陶瓷、不锈钢或合金材质。
6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述反应器设置有三氯氢硅进料口、四氯化硅进料口和氧气进料口。
7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述固液分离器内部设置有分离膜，所述分离膜的固体分离精度＜50微米。
8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述分离膜的固体分离精度为1微米。
9.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述精馏塔包括依次连通的脱轻塔和脱重塔。
10.根据权利要求9所述的装置，其特征在于，所述脱轻塔和脱重塔均为填料塔。
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