[实用新型]一种圆片清洗装置

说明书

本实用新型公开了一种圆片清洗装置，包括传动系统、加热清洗系统、喷淋系统、烘干系统和控制器；传动系统包括传动轮、变频电机和输送带，变频电机分别连接传动轮和控制器，输送带铺在加热清洗系统、喷淋系统和烘干系统表面；加热清洗系统为一个石英槽体，底部设有加热器和温度传感器，石英槽体底部连接加酸箱，上部和底部均设有排放口，排放口连接排放管道；喷淋系统包括上喷淋管路和下喷淋管路，上喷淋管路和下喷淋管路通过水管与自来水管道接口连接，喷淋系统底部设有废水排放口；烘干系统为热风机，热风机与控制器连接。本实用新型动作准确，工作稳定可靠，能提高对半导体圆片表面的污染物的清洗效果，具备较好的市场应用前景。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，具体涉及一种圆片清洗装置。

背景技术

集成电路(IC)是电子信息产业的核心，是推动国民经济和社会信息化发展的最主要的高新技术之一，目前，以半导体集成电路为基础的电子信息产品的世界贸易额已达到了1万亿美元，成为世界第一大产业，谁控制了超大规模集成电路技术，谁就控制了世界产业。随着科技的进步，半导体电子产品已经应用到社会生活的各个领域，而这些半导体产品都具有半导体圆片，由此可见，半导体圆片在当今生活中具有显著的重要性。

制造半导体器件时，通常是在一个公共半导体圆片上形成多个芯片，这要经过多道处理工序，包括腐蚀、涂敷、掺杂、镀敷等工序，直到最后形成多层结构为止。经过这许多工序之后，最好将圆片加以清洗，以除去在先前各项作业过程中产生的杂质和其它微粒，为以后的各项作业准备好圆片。随着半导体芯片各组成部分在体积上的不断缩小，半导体芯片日益复杂，在各项作业之间确保圆片充分清洗和干燥就变得越来越重要，以保证达到高度清洁和争取最高的产量。因为任何夹带的杂质会大大影响成品的质量和可达到的产量。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种圆片清洗装置，动作准确，以及工作稳定可靠，能提高对半导体圆片表面的污染物的清洗效果，具备较好的市场应用前景。

本实用新型是这样实现的：

一种圆片清洗装置，包括传动系统、加热清洗系统、喷淋系统、烘干系统和控制器；传动系统包括传动轮、变频电机和输送带，变频电机分别连接传动轮和控制器，输送带铺在加热清洗系统、喷淋系统和烘干系统表面；加热清洗系统为一个石英槽体，底部设有加热器和温度传感器，石英槽体底部连接加酸箱，上部和底部均设有排放口，排放口连接排放管道；喷淋系统包括上喷淋管路和下喷淋管路，上喷淋管路和下喷淋管路通过水管与自来水管道接口连接，喷淋系统底部设有废水排放口，废水排放口连接废水排放管道；烘干系统为热风机，热风机与控制器连接；

加酸箱与石英槽体的连接管路上设有流量阀，上喷淋管路和下喷淋管路与自来水管道连接的管道上设有进水阀，排放管道上设有电磁阀，废水排放管道设有废水排放阀，上述流量阀、进水阀、电磁阀和废水排放阀分别与控制器连接。

作为优选方案，所述控制器连接有触控面板，触控面板为人机界面，是一种可接收触头输入讯号的感应式液晶显示装置。

作为优选方案，所述控制器为集成电路、PLC控制器或单片机。

作为优选方案，所述控制器设有工作指示灯和故障指示灯。

作为优选方案，所述控制器设有蜂鸣器。

作为优选方案，所述加热器内设有加热丝，所有的加热丝及其导线都是用PFA包裹。

作为优选方案，所述输送带采用聚四氟乙烯输送带。是以悬浮聚四氟乙烯（俗称塑料王）乳液为原料，浸渍高性能玻璃纤维网而成,是一种高性能多用途的复合材料新产品。

圆片清洗装置的工作步骤及原理：

（1）根据圆片的类型，在触控面板设置控制器参数，将圆片放入片盒，启动圆片清洗设备；