[实用新型]一种圆片清洗装置

权利要求书

1.一种圆片清洗装置，其特征在于：包括传动系统、加热清洗系统、喷淋系统、烘干系统和控制器；传动系统包括传动轮、变频电机和输送带，变频电机分别连接传动轮和控制器，输送带铺在加热清洗系统、喷淋系统和烘干系统表面；加热清洗系统为一个石英槽体，底部设有加热器和温度传感器，石英槽体底部连接加酸箱，上部和底部均设有排放口，排放口连接排放管道；喷淋系统包括上喷淋管路和下喷淋管路，上喷淋管路和下喷淋管路通过水管与自来水管道接口连接，喷淋系统底部设有废水排放口，废水排放口连接废水排放管道；烘干系统为热风机，热风机与控制器连接；

加酸箱与石英槽体的连接管路上设有流量阀，上喷淋管路和下喷淋管路与自来水管道连接的管道上设有进水阀，排放管道上设有电磁阀，废水排放管道设有废水排放阀，上述流量阀、进水阀、电磁阀和废水排放阀分别与控制器连接；

所述控制器连接有触控面板，触控面板为人机界面，是一种可接收触头输入讯号的感应式液晶显示装置；

所述控制器为集成电路、PLC控制器或单片机。

2.根据权利要求1所述的圆片清洗装置，其特征在于：所述控制器设有工作指示灯和故障指示灯。

3.根据权利要求1所述的圆片清洗装置，其特征在于：所述控制器设有蜂鸣器。

4.根据权利要求1所述的圆片清洗装置，其特征在于：所述加热器内设有加热丝，所有的加热丝及其导线都是用PFA包裹。

5.根据权利要求1所述的圆片清洗装置，其特征在于：所述输送带采用聚四氟乙烯输送带。