[实用新型]一种连续镀膜设备的进料机构

说明书

本实用新型公开了一种连续镀膜设备的进料机构，包括进料仓，进料仓内设置有第一基片架和进料机构，进料机构为三轴进料机械手，三轴进料机械手包括进料机械手X轴链、进料机械手Y轴链、进料机械手Z轴链、进料机械手运行轨道、真空吸盘、进料驱动机构，进料机械手X轴链、进料机械手Y轴链、进料机械手Z轴链分别设置于进料机械手运行轨道上，且通过进料驱动机构带动进料机械手X轴链、进料机械手Y轴链、进料机械手Z轴链在进料机械手运行轨道上滑动，真空吸盘设置于进料机械手Z轴链的输出端，真空吸盘用以将钕铁硼磁片移送至第一基片架上。本实用新型能够自动将钕铁硼磁片放置于基片架上，具有自动化程度高、工作效率高的特点。

技术领域

本实用新型涉及磁体制备技术领域，特别涉及一种连续镀膜设备的进料机构。

背景技术

钕铁硼（Nd2Fe14B）永磁体具有高剩磁、高矫顽力和高磁能积，是现今所知的综合性能最高的稀土永磁材料，促进了磁学器件的小型化、轻型化的发展，使得在风力发电、变频压缩机和新能源乘用车等高端热门领域得到了广泛的应用。

为了获得高性能的烧结钕铁硼永磁体主要运用到重稀土等元素的添加，晶界扩散添加重稀土元素成为近年来研究的热点，使用晶界扩散的方法，使重稀土元素扩散进入磁体晶界及主相晶粒边缘区域，既能达到提高各向异性场的目的，又不明显的降低剩磁和磁能积，同时成本微量增加。

磁控溅射便是晶界扩散添加稀土元素的方法中的一种，磁控溅射是通过磁控溅射设备溅射重稀土金属在钕铁硼磁体表面，磁控溅射时，先要将钕铁硼磁片放置于基片架上，使一面溅射镀膜之后冷却，再进行翻面，再对另一面进行溅射，但在现有技术中，均是通过人工将钕铁硼磁片放置于基片架上，这无疑增加了溅射的时间，降低了生产效率。

发明内容

针对现有技术的不足和缺陷，提供一种连续镀膜设备的进料机构，能够自动将钕铁硼磁片放置于基片架上，具有自动化程度高、工作效率高的特点。

为实现上述目的，本实用新型提供以下技术方案。

一种连续镀膜设备的进料机构，包括进料仓，进料仓内设置有第一基片架和进料机构，进料机构为三轴进料机械手，三轴进料机械手包括进料机械手X轴链、进料机械手Y轴链、进料机械手Z轴链、进料机械手运行轨道、真空吸盘、进料驱动机构，进料机械手X轴链、进料机械手Y轴链、进料机械手Z轴链分别设置于进料机械手运行轨道上，且通过进料驱动机构带动进料机械手X轴链、进料机械手Y轴链、进料机械手Z轴链在进料机械手运行轨道上滑动，真空吸盘设置于进料机械手Z轴链的输出端，真空吸盘连接有真空发生器, 真空吸盘用以将钕铁硼磁片移送至第一基片架上。

进一步的，进料仓连接有真空系统。

进一步的，进料驱动机构为驱动电机，驱动电机通过齿轮带动进料机械手X轴链、进料机械手Y轴链、进料机械手Z轴链在进料机械手运行轨道上滑动。

进一步的，电机的输出端还连接有减速机。

本实用新型的有益效果为：本实用新型的镀膜设备，使用时，将装有钕铁硼磁片的料盒放入进料仓内，再通过驱动机构带动进料机械手X轴链、进料机械手Y轴链、进料机械手Z轴链在进料机械手运行轨道上滑动至料盒上方，真空吸盘将料盒内的钕铁硼磁片吸附，再通过驱动机构带动进料机械手X轴链、进料机械手Y轴链、进料机械手Z轴链在进料机械手运行轨道上滑动至第一基片架上，将钕铁硼磁片码放至第一基片架上，待码放完成后再进行镀膜处理，能够自动将钕铁硼磁片放置于基片架上，具有自动化程度高、工作效率高的特点。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图。

图2是本实用新型的三轴进料机械手结构示意图。

图中，1.进料仓；2.三轴进料机械手；3.进料机械手X轴链；4.进料机械手Y轴链；5.进料机械手Z轴链；6.进料机械手运行轨道；7.真空吸盘。