[实用新型]一种使用外红外加热的蚀刻装置有效

专利信息
申请号: 201821559917.5 申请日: 2018-09-25
公开(公告)号: CN209081988U 公开(公告)日: 2019-07-09
发明(设计)人: 李彦;耿朝辉 申请(专利权)人: 赫得纳米科技(黄石)有限公司
主分类号: C23F1/08 分类号: C23F1/08
代理公司: 武汉国越知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42232 代理人: 李伟涛
地址: 435100 湖北省黄石市经济技*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 蚀刻液 托槽 观察窗 入板 本实用新型 红外加热 螺钉固定 蚀刻装置 出板 加热 垂直中心线 电力消耗 红外线灯 受热均匀 水泵进口 箱壳内壁 保护罩 管内壁 前端面 温控器 节约 箱壳 水泵
【说明书】:

实用新型公开了一种使用外红外加热的蚀刻装置,包括箱体,所述箱体的前端面设置有观察窗,观察窗设置有两个,且观察窗之间关于箱体的垂直中心线相对称,所述箱体的一侧设置有入板托槽,且入板托槽与箱体之间通过螺钉固定连接,所述箱体的另一侧设置有出板托槽,且出板托槽与箱体之间通过螺钉固定连接,所述入板托槽的一侧设置有蚀刻液箱,所述蚀刻液箱的上方安装有水泵,所述蚀刻液箱上设置有蚀刻液箱壳,所述水泵进口管内壁的上方安装有外红外线灯,所述蚀刻液箱壳内壁的一侧安装有温控器保护罩。本实用新型加热速度快、受热均匀,节约百分之三十的电力消耗,节约了成本,缩短了加热时间。

技术领域

本实用新型涉及蚀刻装置技术领域,具体为一种使用外红外加热的蚀刻装置。

背景技术

蚀刻机可以分为化学蚀刻机及电解蚀刻机两类。在化学蚀刻中是使用化学溶液,经由化学反应以达到蚀刻的目的,化学蚀刻机是将材料用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。

随着客户对产品品质要求的不断提高,原有的工艺条件已不能适用于现有的要求,而蚀刻液提升温度对产品品质有着积极的促进作用,但市面上的蚀刻机不具备升温功能,因此市场急需研制一种使用外红外加热的蚀刻装置来帮助人们解决现有的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种使用外红外加热的蚀刻装置,以解决上述背景技术中提出的市面上的蚀刻机不具备升温功能的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种使用外红外加热的蚀刻装置,包括箱体,所述箱体的前端面设置有观察窗,观察窗设置有两个,且观察窗之间关于箱体的垂直中心线相对称,所述箱体的一侧设置有入板托槽,且入板托槽与箱体之间通过螺钉固定连接,所述箱体的另一侧设置有出板托槽,且出板托槽与箱体之间通过螺钉固定连接,所述入板托槽和出板托槽的下方均安装有托槽支撑脚,所述入板托槽的一侧设置有蚀刻液箱,所述蚀刻液箱的上方安装有水泵,所述蚀刻液箱上设置有蚀刻液箱壳,所述蚀刻液箱壳的上端设置有蚀刻液箱进口管,所述蚀刻液箱进口管的一侧设置有水泵进口管,所述水泵进口管的下方设置有吸液软管,且吸液软管与水泵进口管之间密封连接,所述蚀刻液箱壳内壁的上方安装有外红外线灯,且外红外线灯与蚀刻液箱壳之间通过螺钉固定连接,所述蚀刻液箱壳内壁的一侧安装有温控器保护罩。

优选的,所述水泵进口管的一端贯穿蚀刻液箱壳,且水泵进口管的一端延伸至蚀刻液箱壳的外部。

优选的,所述温控器保护罩的内部安装有温控器,且温控器的一端贯穿并延伸至蚀刻液箱壳的外部,所述温控器与外红外线灯电性连接。

优选的,所述蚀刻液箱壳的底部安装有蚀刻液箱支撑脚,蚀刻液箱支撑脚设置有六个,且蚀刻液箱支撑脚之间关于蚀刻液箱壳的垂直中心线相对称。

优选的,所述蚀刻液箱壳的下端设置有蚀刻液箱出口管,且蚀刻液箱出口管与蚀刻液箱壳之间密封连接。

优选的,所述外红外线灯包括灯罩、远红外石英电加热管和玻璃保护层,所述远红外石英电加热管位于灯罩的内部,所述远红外石英电加热管设置有九个,且远红外石英电加热管之间依次分布,所述玻璃保护层位于灯罩的前端面。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

1.该使用外红外加热的蚀刻装置通过设置远红外石英电加热管对蚀刻液进行加热,远红外石英电加热管无需远红外涂层,光谱辐射匹配吸收特性好,长期使用辐射性能不退变,电热转换效率高。比一般加热元件在生产效率上提高百分之二十,节电百分之三十,节省其他能源约百分之三十,升温快、受热均匀、热惯性小,耐高温、耐腐蚀,热化学性能稳定性好,使用寿命长,绝缘强度高,由于远红外加热是辐射加热,不会对环境造成污染,而且电热石英管其安全性高,对人体伤害小,是一种清洁型的加热器,符合现代生产高节奏、高品质的要求,通过它的设置可以节约百分之三十的电力消耗,节约了成本,缩短了加热时间,解决了蚀刻机不具备升温功能的问题。

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