[实用新型]一种使用外红外加热的蚀刻装置有效
| 申请号： | 201821559917.5 | 申请日： | 2018-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN209081988U | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 李彦;耿朝辉 | 申请（专利权）人： | 赫得纳米科技（黄石）有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 武汉国越知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42232 | 代理人： | 李伟涛 |
| 地址： | 435100 湖北省黄石市经济技*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蚀刻液 托槽 观察窗 入板 本实用新型 红外加热 螺钉固定 蚀刻装置 出板 加热 垂直中心线 电力消耗 红外线灯 受热均匀 水泵进口 箱壳内壁 保护罩 管内壁 前端面 温控器 节约 箱壳 水泵 | ||
1.一种使用外红外加热的蚀刻装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的前端面设置有观察窗(2)，观察窗(2)设置有两个，且观察窗(2)之间关于箱体(1)的垂直中心线相对称，所述箱体(1)的一侧设置有入板托槽(3)，且入板托槽(3)与箱体(1)之间通过螺钉固定连接，所述箱体(1)的另一侧设置有出板托槽(4)，且出板托槽(4)与箱体(1)之间通过螺钉固定连接，所述入板托槽(3)和出板托槽(4)的下方均安装有托槽支撑脚(5)，所述入板托槽(3)的一侧设置有蚀刻液箱(6)，所述蚀刻液箱(6)的上方安装有水泵(7)，所述蚀刻液箱(6)上设置有蚀刻液箱壳(8)，所述蚀刻液箱壳(8)的上端设置有蚀刻液箱进口管(9)，所述蚀刻液箱进口管(9)的一侧设置有水泵进口管(10)，所述水泵进口管(10)的下方设置有吸液软管(11)，且吸液软管(11)与水泵进口管(10)之间密封连接，所述蚀刻液箱壳(8)内壁的上方安装有外红外线灯(12)，且外红外线灯(12)与蚀刻液箱壳(8)之间通过螺钉固定连接，所述蚀刻液箱壳(8)内壁的一侧安装有温控器保护罩(14)。
2.根据权利要求1所述的一种使用外红外加热的蚀刻装置，其特征在于：所述水泵进口管(10)的一端贯穿蚀刻液箱壳(8)，且水泵进口管(10)的一端延伸至蚀刻液箱壳(8)的外部。
3.根据权利要求1所述的一种使用外红外加热的蚀刻装置，其特征在于：所述温控器保护罩(14)的内部安装有温控器(13)，且温控器(13)的一端贯穿并延伸至蚀刻液箱壳(8)的外部，所述温控器(13)与外红外线灯(12)电性连接。
4.根据权利要求1所述的一种使用外红外加热的蚀刻装置，其特征在于：所述蚀刻液箱壳(8)的底部安装有蚀刻液箱支撑脚(15)，蚀刻液箱支撑脚(15)设置有六个，且蚀刻液箱支撑脚(15)之间关于蚀刻液箱壳(8)的垂直中心线相对称。
5.根据权利要求1所述的一种使用外红外加热的蚀刻装置，其特征在于：所述蚀刻液箱壳(8)的下端设置有蚀刻液箱出口管(16)，且蚀刻液箱出口管(16)与蚀刻液箱壳(8)之间密封连接。
6.根据权利要求1所述的一种使用外红外加热的蚀刻装置，其特征在于：所述外红外线灯(12)包括灯罩(17)、远红外石英电加热管(18)和玻璃保护层(19)，所述远红外石英电加热管(18)位于灯罩(17)的内部，所述远红外石英电加热管(18)设置有九个，且远红外石英电加热管(18)之间依次分布，所述玻璃保护层(19)位于灯罩(17)的前端面。
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