[实用新型]晶圆装载设备

说明书

该实用新型涉及一种晶圆装载设备，包括腔体和舱门，还包括扫描传感器，其中，所述腔体用于放置晶圆；所述舱门用于封闭所述腔体；所述扫描传感器设置于所述舱门，并能够跟随所述舱门的开合运动，用于扫描所述腔体中的晶圆盒内放置的晶圆，以获取所述腔体中放置的晶圆的数目，本实用新型的晶圆装载设备的扫描传感器设置于舱门，跟随所述舱门的开合运动，并在运动过程中对所述腔体内放置的晶圆的数目进行检测。将扫描传感器设置到舱门，使得所述扫描传感器对腔体内放置的晶圆的数目进行检测时，不会与晶圆发生碰撞造成晶圆毁损，采用上述晶圆装载设备可以降低晶圆的毁损率。

技术领域

本实用新型涉及晶圆生产制造加工设备领域，具体涉及一种晶圆装载设备。

背景技术

在集成电路前道制造工艺中，需要使用到晶圆扫描映射系统对晶圆的片数进行扫描映射，从而便于抓取晶圆进行后续的处理，以及对晶圆信息的统计。

在对晶圆进行扫描映射的过程中，晶圆扫描映射系统的扫描部设置在腔体内的机械臂末端，并跟随机械臂在垂直于晶圆表面的方向上运动。在运动过程中，所述扫描部完成对所述腔体内放置的晶圆的数目的检测。

由于机械臂与晶圆盒的距离较近，在通过机械臂带动扫描部对晶圆进行扫描时，所述扫描部与晶圆的距离也较近。当晶圆没有放置到位时，所述扫描部很有可能与所述晶圆发生碰撞，造成晶圆的毁损。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆装载设备，能够减小对晶圆的毁损率。

为了解决上述技术问题，本实用新型中提供了一种晶圆装载设备，包括腔体和舱门还包括扫描传感器，其中，所述腔体用于放置晶圆盒；所述舱门用于封闭所述腔体；所述扫描传感器设置于所述舱门，并能够跟随所述舱门的开合运动，用于扫描所述腔体中的晶圆盒内放置的晶圆，以获取所述腔体中的晶圆盒内放置的晶圆数目。

可选的，所述扫描传感器包括发射单元和接收单元，其中，所述发射单元包括一发射口，所述发射口朝向所述晶圆设置，用于向晶圆发射检测信号；所述接收单元包括一接收口，所述接收口朝向所述晶圆设置，用于接收所述检测信号经晶圆折射后的折射信号。

可选的，所述发射单元为激光发射单元，所述接收单元为激光接收单元，所述检测信号为光信号。

可选的，所述晶圆水平放置在所述腔体内时，在所述扫描传感器的扫描过程中，所述发射单元的发射口的朝向与水平面之间具有第一夹角，所述接收单元的接收口的朝向与水平面之间具有第二夹角。

可选的，所述第一夹角为15°～20°，所述第二夹角也为15°～20°。

可选的，所述第一夹角与所述第二夹角相等。

可选的，晶圆盒内的晶圆沿竖直方向平行放置，所述舱门的开合方向为竖直方向，所述扫描传感器能够跟随所述舱门在竖直方向上运动，获取所述晶圆盒内的晶圆的数目。

可选的，所述发射单元和接收单元均设置于所述舱门顶部，且所述发射单元和接收单元之间的距离小于所述腔体内放置的晶圆的直径。

可选的，还包括控制器，连接到所述发射单元和接收单元，用于控制所述发射单元发射检测信号、控制所述接收单元接收折射信号，并根据接收到的折射信号获取所述腔体中放置的晶圆的数目。

本实用新型的晶圆装载设备的扫描传感器设置于舱门，跟随所述舱门的开合运动，并在运动过程中对所述腔体内放置的晶圆的数目进行检测。将扫描传感器设置到舱门，使得所述扫描传感器对腔体内放置的晶圆的数目进行检测时，不会与晶圆发生碰撞造成晶圆毁损，采用上述晶圆装载设备可以降低晶圆的毁损率。

附图说明

图1为本实用新型的一种具体实施方式中的晶圆装载设备的侧视示意图。