[实用新型]弹性波装置

说明书

一种弹性波装置包括：压电基板，主要包含铌酸锂；叉指换能器电极，设置在压电基板上；以及电介质膜，设置在压电基板上，以便覆盖叉指换能器电极，主要包含氧化硅。弹性波装置使用瑞利波。叉指换能器电极包括多个主电极层(electrolyte)。多个主电极层包括一个或多个第一主电极层，所述一个或多个第一主电极层由针对弹性常数C11以及弹性常数C12而言C11²/C12比大于氧化硅的C11²/C12比的金属制成。在将所述叉指换能器电极整体的厚度是约100％时，所述一个或多个第一主电极层的厚度的总和是约55％或更多。

技术领域

本发明涉及使用瑞利波的弹性波装置，所述弹性波装置包括主要包含铌酸锂的压电基板。

背景技术

以往，提出了各种使用在主要包含铌酸锂的压电基板上传播的瑞利波的弹性波装置。日本未审查专利申请公开No.2012-175315公开了一种设置在LiNbO₃基板上的叉指换能器电极。叉指换能器电极包括通过将多个金属层层叠而成的多层金属膜。叉指换能器电极被氧化硅膜覆盖。

以往，为了改善频率温度特性，较多使用在主要包括铌酸锂的压电基板上层叠氧化硅膜的构造。但是，若氧化硅膜的厚度变得过厚，则在一些情况下存在赛兹瓦波引起的寄生变大的问题。此外，若氧化硅膜的厚度变薄，则频率温度特性劣化。因此，难以兼顾抑制由于赛兹瓦波引起的寄生和减小频率温度系数TCF的绝对值二者。

发明内容

因此，本发明的目的在于，提供一种能够实现对由于赛兹瓦波引起的寄生的抑制和对频率温度特性的改善的弹性波装置。

根据本发明的优选实施例，一种弹性波装置包括：压电基板，主要包括铌酸锂；叉指换能器电极，设置在所述压电基板上；和电介质膜，设置在所述压电基板上以覆盖所述叉指换能器电极且主要包括氧化硅，所述弹性波装置利用瑞利波，所述叉指换能器电极具有多个主电极层。所述多个主电极层包括一个或多个第一主电极层，所述一个或多个第一主电极层由对于弹性常数C11以及弹性常数C12而言C11²/C12比大于氧化硅的C11²/C12比的金属构成。在将所述叉指换能器电极整体的厚度设为约100％时，所述一个或多个第一主电极层的厚度的总和占约52％或更多。

根据基于本发明优选实施例的弹性波装置，可以抑制由于赛兹瓦波引起的寄生，可以改善频率温度特性，并且可以减小叉指换能器电极的欧姆损耗。

根据以下参考附图对本发明优选实施例的详细描述，本发明的其他特征、要素、特性和优点将显而易见。

附图说明

图1是根据本发明的第一实施例的弹性波装置的俯视图；

图2是表示根据第一实施例的弹性波装置的主要部分的多层结构的示意局部正面剖视图；

图3是表示每个SiO₂膜厚(％)与赛兹瓦波的声速的关系的图；

图4是表示在使用具有各种膜厚的M_o构成的叉指换能器电极的情况下的每个SiO₂膜厚与赛兹瓦波的声速的关系的图；

图5是表示在使用具有各种膜厚的W构成的叉指换能器电极的情况下的每个SiO₂膜厚与赛兹瓦波的声速的关系的图；

图6是表示在使用具有各种膜厚的Cu构成的叉指换能器电极的情况下的每个SiO₂膜厚与赛兹瓦波的声速的关系的图；

图7是表示在使用具有各种膜厚的Fe构成的叉指换能器电极的情况下的每个SiO₂膜厚与赛兹瓦波的声速的关系的图；

图8是表示在使用具有各种膜厚的Pt构成的叉指换能器电极的情况下的每个SiO₂膜厚与赛兹瓦波的声速的关系的图；