[实用新型]弹性波装置有效
| 申请号： | 201821547802.4 | 申请日： | 2018-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN208836090U | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | 佐治真理 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/15 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 倪斌 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 主电极层 叉指换能器电极 弹性波装置 压电基板 弹性常数 氧化硅 电介质膜 金属制成 瑞利波 铌酸锂 覆盖 | ||
1.一种弹性波装置，包括：
压电基板，主要包括铌酸锂；
叉指换能器电极，设置在所述压电基板上；和
电介质膜，设置在所述压电基板上以覆盖所述叉指换能器电极并且主要包括氧化硅，所述弹性波装置利用瑞利波，
其特征在于：所述叉指换能器电极具有多个主电极层，
所述多个主电极层包括一个或多个第一主电极层，其中所述一个或多个第一主电极层由对于弹性常数C11以及弹性常数C12而言C112/C12比大于氧化硅的C112/C12比的金属构成，并且在将所述叉指换能器电极整体的厚度约为100％时，所述一个或多个第一主电极层的厚度的总和约为55％或更多。
2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，所述一个或多个第一主电极层的数量是两个或者更多。
3.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，所述主电极层的数量是三个或者更多，且所述主电极层还包括第二主电极层和第三主电极层，其中所述第二主电极层是由如下金属构成的：所述金属不同于构成所述一个或多个第一主电极层的金属；且所述第三主电极层设置在所述第二主电极层的与所述一个或多个第一主电极层相对的一侧，并且是由与构成所述一个或多个第一主电极层的金属相同的金属构成的。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的弹性波装置，其中，所述多个主电极层仅包括所述一个或多个第一主电极层。
5.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，所述多个主电极层还包括由C112/C12比小于氧化硅的C112/C12比的金属构成的第二主电极层。
6.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，所述多个主电极层的数量是2。
7.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，所述一个或多个第一主电极层设置在从所述压电基板侧起所述电介质膜的厚度的约42％以内的一个或多个位置处。
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