[实用新型]气嘴结构

权利要求书

1.一种气嘴结构，该气嘴的周面凸设有较大外径的一固定片，该固定片上具有数个结合孔可分别供数个螺栓穿过而将其螺锁结合在一平台上，该气嘴之中具有一气道，该气道一端延伸到顶面而形成一第一开口可供与一晶圆盒的对接部相接通，另一端则延伸到周面而形成一第二开口用以供连接一进气管或一出气管，且该第二开口位于该固定片的下方，其特征在于，该气嘴由金属制成，该气嘴的顶面凸设有断面呈圆弧形且呈同心圆状的数个环凸肋供用于与该晶圆盒的对接部抵接。

2.如权利要求1所述的气嘴结构，其特征在于，所述数个环凸肋中，气嘴顶面内侧的环凸肋的高度高于外侧的环凸肋。

3.如权利要求2所述的气嘴结构，其特征在于，所述环凸肋的数量为2道。

4.一种气嘴结构，包括一本体，该本体的周面凸设有较大外径的一固定片，该固定片上具有数个结合孔可分别供数个螺栓穿过而将其螺锁结合在一平台上，该本体之中具有一气道，该气道一端延伸到顶面而形成一第一开口可供与一晶圆盒的对接部相接通，另一端则延伸到周面而形成一第二开口用以供连接一进气管或一出气管，且该第二开口位于该固定片的下方，其特征在于，该气嘴还包括一O形胶圈，该本体由金属制成，该本体的顶面于该第一开口的周围设有一环沟槽；O形胶圈嵌设于该环沟槽之中，且上侧凸伸出该本体的顶面一高度。

5.如权利要求4所述的气嘴结构，其特征在于，所述环沟槽的断面形状呈梯形。

6.如权利要求4所述的气嘴结构，其特征在于，所述O形胶圈上侧凸伸出该本体顶面的高度小于0.1mm。

7.如权利要求4所述的气嘴结构，其特征在于，所述O形胶圈为橡胶材质。

8.如权利要求4所述的气嘴结构，其特征在于，所述O形胶圈为硅胶材质。