[实用新型]真空腔体破气装置

说明书

本实用新型公开了真空腔体破气装置，涉及真空设备技术领域。包括：真空腔体、与外界连通的破气通道、用于承载产品的载盘、传输导轨以及气流挡件；所述真空腔体具有与所述破气通道适配的破气通孔；所述破气通道安装在所述真空腔体的外壁、且通过所述破气通孔与所述真空腔体内部连通；所述载盘安装在所述传输导轨上，所述传输导轨设置在所述真空腔体内；所述气流挡件安装在所述真空腔体的内壁、且面向所述破气通孔形成用于遮挡所述破气通孔的挡面，且所述气流挡件与所述破气通孔之间设有距离；该真空腔体破气装置能够减轻料件的刮碰。

技术领域

本实用新型涉及真空设备技术领域，尤其是涉及真空腔体破气装置。

背景技术

真空腔体破气，是指将洁净干燥的气体，例如空气、氮气等，通过破气通道灌入真空腔体内的过程。当真空腔体内气压值达到大气压强后，开启真空腔体的阀门，取出真空腔体内的料件；生产时，真空腔体内的真空度小于1Pa，腔体内外的气压差达到10⁵Pa，在极短的时间内，气体将以“冲击波”的形式，冲入真空腔体的内部，对位于真空腔体内的料件，产生较大冲击，冲击作用力大于10N/cm²，在极端情况下，会将料件“吹起”，例如镀膜遮蔽治具上盖，在质量较轻、受力面积较大时，会被“吹起”，并卡在真空腔体上部结构中，进而造成料件刮碰的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供真空腔体破气装置，该真空腔体破气装置能够减轻料件的刮碰。

为实现上述目的，本实用新型提供以下技术方案：

根据本实用新型的一方面，提供真空腔体破气装置，包括：真空腔体、与外界连通的破气通道、用于承载产品的载盘、传输导轨以及气流挡件；所述真空腔体具有与所述破气通道适配的破气通孔；

所述破气通道安装在所述真空腔体的外壁、且通过所述破气通孔与所述真空腔体内部连通；

所述载盘安装在所述传输导轨上，所述传输导轨设置在所述真空腔体内；

所述气流挡件安装在所述真空腔体的内壁、且面向所述破气通孔形成用于遮挡所述破气通孔的挡面，且所述气流挡件与所述破气通孔之间设有距离。

进一步地，所述气流挡件为气流挡板。

进一步地，所述真空腔体包括相对设置的上面板以及下面板、以及分别与所述上面板和所述下面板相互垂直的侧面板；

所述破气通孔开设在所述侧面板上；

所述气流挡板安装在所述侧面板上、且面向所述破气通孔；所述气流挡板与所述侧面板的内壁设有距离、与所述上面板设有距离、以及与所述下面板设有距离。

进一步地，所述气流挡板与所述侧面板的内壁设有距离、与所述上面板设有距离、以及与所述下面板紧密接触。

进一步地，所述气流挡件安装在所述真空腔体的内部、且面向所述破气通孔形成的挡面与所述破气通孔的周向截面相等。

进一步地，所述破气通道为中空的柱体结构。

进一步地，所述破气通道设有腔体，所述腔体具有与所述破气通孔连通的出气口以及与外界连通的进气口；

位于所述出气口，所述破气通道安装在所述真空腔体的外壁；

沿所述进气口至所述出气口的方向，所述腔体的尺寸逐渐增大。

进一步地，所述破气通道为棱台结构。

进一步地，所述气流挡板通过安装柱安装在所述侧面板上；

所述安装柱一端部安装有所述气流挡板，另一端部可拆卸地安装在所述侧面板上。

进一步地，所述安装柱的另一端与所述侧面板螺接。