[实用新型]真空腔体破气装置

权利要求书

1.真空腔体破气装置，其特征在于，包括：真空腔体、与外界连通的破气通道、用于承载产品的载盘、传输导轨以及气流挡件；所述真空腔体具有与所述破气通道适配的破气通孔；

所述破气通道安装在所述真空腔体的外壁、且通过所述破气通孔与所述真空腔体内部连通；

所述载盘安装在所述传输导轨上，所述传输导轨设置在所述真空腔体内；

所述气流挡件安装在所述真空腔体的内壁、且面向所述破气通孔形成用于遮挡所述破气通孔的挡面，且所述气流挡件与所述破气通孔之间设有距离。

2.根据权利要求1所述的真空腔体破气装置，其特征在于，所述气流挡件为气流挡板。

3.根据权利要求2所述的真空腔体破气装置，其特征在于，所述真空腔体包括相对设置的上面板以及下面板、以及分别与所述上面板和所述下面板相互垂直的侧面板；

所述破气通孔开设在所述侧面板上；

所述气流挡板安装在所述侧面板上、且面向所述破气通孔；所述气流挡板与所述侧面板的内壁设有距离、与所述上面板设有距离、以及与所述下面板设有距离。

4.根据权利要求3所述的真空腔体破气装置，其特征在于，所述气流挡板与所述侧面板的内壁设有距离、与所述上面板设有距离、以及与所述下面板紧密接触。

5.根据权利要求1所述的真空腔体破气装置，其特征在于，所述气流挡件安装在所述真空腔体的内部、且面向所述破气通孔形成的挡面与所述破气通孔的周向截面相等。

6.根据权利要求1所述的真空腔体破气装置，其特征在于，所述破气通道为中空的柱体结构。

7.根据权利要求1所述的真空腔体破气装置，其特征在于，所述破气通道设有腔体，所述腔体具有与所述破气通孔连通的出气口以及与外界连通的进气口；

位于所述出气口，所述破气通道安装在所述真空腔体的外壁；

沿所述进气口至所述出气口的方向，所述腔体的尺寸逐渐增大。

8.根据权利要求7所述的真空腔体破气装置，其特征在于，所述破气通道为棱台结构。

9.根据权利要求3所述的真空腔体破气装置，其特征在于，所述气流挡板通过安装柱安装在所述侧面板上；

所述安装柱一端部安装有所述气流挡板，另一端部可拆卸地安装在所述侧面板上。

10.根据权利要求9所述的真空腔体破气装置，其特征在于，所述安装柱的另一端与所述侧面板螺接。