[实用新型]一种双振镜工位用细管道式除尘装置

权利要求书

1.一种双振镜工位用细管道式除尘装置，包括：除尘罩本体（1）、吸风嘴（2）、安装连接架（4）；其特征在于：所述除尘罩本体（1）是由外壁组件（11）、内壁组件（12）、顶板（13）、底板（14）固定连接为一体围成具有细管道式腔体的双层“回”形构件；所述内壁组件（12）上的前、后内壁的下端分别与底板（14）之间存有垂直方向的间隙，形成与细管道式腔体相连通的两条狭长条形进气口（15）；所述外壁组件（11）的左、右外壁上设有与吸风嘴（2）相连通的通孔，分别连接有左、右吸风嘴（2）；所述安装连接架（4）为长“L”形连接板，安装在除尘罩本体（1）的后侧上方部位，用于将除尘罩本体固定连接在激光刻蚀机设备上。

2.根据权利要求1所述的双振镜工位用细管道式除尘装置，其特征在于：在所述前、后两条狭长的细管道式腔体的中间部位，各设置有分离隔板（3），将细管道式腔体分割为左、右两部分腔体。

3.根据权利要求1或者2所述的双振镜工位用细管道式除尘装置，其特征在于：所述进气口（15）垂直方向的间隙的距离设置为3-8mm。

4.根据权利要求1或者2所述的双振镜工位用细管道式除尘装置，其特征在于：所述底板（14）上对应于内壁组件（12）上前、后内壁处狭长条形的宽度小于顶板（13），从而形成水平方向的间隙，与垂直方向的间隙，共同形成进气口（15）。

5.根据权利要求4所述的双振镜工位用细管道式除尘装置，其特征在于：所述水平方向的间隙的距离设置为3-8mm。

6.根据权利要求1或者2所述的双振镜工位用细管道式除尘装置，其特征在于：所述安装连接架（4）包括连接底板、后侧板及左、右侧板，所述连接底板上设有腰形孔槽，可左右方向移动调整除尘罩本体的安装位置；相同的，所述后侧板上设有垂直方向的腰形孔槽，可上下方向移动调整除尘罩本体的安装位置。

7.根据权利要求1或者2所述的双振镜工位用细管道式除尘装置，其特征在于：在所述除尘罩本体（1）上，还设有等离子棒安装支架组件，由左、右支撑架组件组成；所述左支撑架组件包括左支撑架（5）、支撑下座（7）、支撑上座（8）；所述右支撑架组件包括右支撑架（6）、支撑下座（7）、支撑上座（8）；所述支撑下座（7）上设有固定螺孔（71）、弧形孔槽（72），对应的左支撑架（5）、右支撑架（6）上分别设有中心固定螺栓（9）及旋转止位螺栓（10）；通过旋转止位螺栓（10）限定弧形孔槽72位置，通过中心固定螺栓（9）连接到固定螺孔（71）上，将支撑下座（8）分别连接在左支撑架（5）、右支撑架（6）上；所述支撑下座（7）以中心固定螺栓（9）为中心可以做一定弧度的位置旋转。

8.根据权利要求7所述的双振镜工位用细管道式除尘装置，其特征在于：所述弧形孔槽（72）的弧度角度为60º-90º。

9.根据权利要求7所述的双振镜工位用细管道式除尘装置，其特征在于：所述左支撑架5、右支撑架6设有垂直方向的腰形孔槽，其上下位置可以上下调节。