[实用新型]硒分配管、薄膜蒸镀设备及光伏芯片制造设备

说明书

本实用新型涉及光伏发电技术领域，特别涉及一种硒分配管、薄膜蒸镀设备及光伏芯片制造设备。本实用新型提供一种硒分配管，包括管本体以及设置在所述管本体内的分隔体，所述分隔体将所述管本体分隔成至少两个腔室，每个所述腔室均设置有进气口和出气口。本实用新型提供的硒分配管中的分隔体将管本体分隔成多个相互独立的腔室，则能够避免进入管本体内的由不同硒蒸发源蒸发出的硒蒸汽在管本体内相互干扰，便于控制蒸发源功率和蒸发量，进而方便对工艺调整，提高产能。

技术领域

本实用新型涉及光伏发电技术领域，特别涉及一种硒分配管、薄膜蒸镀设备及光伏芯片制造设备。

背景技术

CIGS(铜铟镓硒)薄膜太阳能电池由于材料有近似最佳的光学能隙、吸收率高、杭辐射能力强和长期的稳定性等特点，被国际上称为最有希望获得大规模应用的太阳能电池之一。

在利用蒸镀法生产CIGS薄膜太阳能电池的过程中，在镀膜机中的特定位置设置一个或多个铜、铟、镓、硒靶材蒸发源，然后对靶材加热，使其产生蒸汽，蒸汽会在镀膜腔室中以预定的速度、浓度沉积到待镀组件的预定位置。因此，对靶材的蒸镀速度和蒸汽的沉积位置的把控非常重要。目前，通常采用两个硒蒸发源为一组，蒸发源采用坩埚加热使硒气化，坩埚内的硒蒸汽进入硒分配管，硒分配管将硒蒸汽分配至镀膜腔室的预定位置。

存在的问题是，即使两个坩埚的加热功率相同，两个坩埚中的硒蒸发情况也可能会存在蒸发量不同的情况，而硒蒸汽会由蒸发量多的坩埚扩散至蒸发量少的坩埚内，这就会导致不方便掌握每个蒸发源实际的蒸发量，从而不方便掌握每个蒸发源的功率与实际硒蒸发量之间的关系，不方便对工艺参数进行调整。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硒分配管、薄膜蒸镀设备及光伏芯片制造设备，以解决现有技术中的不方便掌握每个硒蒸发源实际蒸发量的技术问题。

本实用新型提供一种硒分配管，包括管本体以及设置在所述管本体内的分隔体，所述分隔体将所述管本体分隔成至少两个腔室，每个所述腔室均设置有进气口和出气口。

进一步地，所述分隔体包括与所述管本体的内壁固定连接的固定隔板。

进一步地，所述固定隔板与所述管本体采用相同材质。

进一步地，所述分隔体包括隔离流体，所述管本体上设置有流体出入口。

进一步地，所述分隔体包括与所述管本体转动连接的转动隔板。

进一步地，所述分隔体包括沿垂直于所述管本体的延伸方向滑设在所述管本体上的滑动隔板。

进一步地，当所述分隔体将所述管本体分隔成两个腔室时，所述分隔体位于所述管本体的中心。

本实用新型提供一种薄膜蒸镀设备，包括本实用新型提供的硒分配管以及与所述硒分配管中的所述腔室连通的硒蒸发源。

进一步地，所述腔室的数量为两个，所述硒蒸发源的数量为两个，两个所述腔室与两个所述硒蒸发源一一流体连通。

本实用新型提供一种光伏芯片制造设备，包括本实用新型提供的薄膜蒸镀设备。

相对于相关技术，本实用新型提供的硒分配管中的分隔体将管本体分隔成多个相互独立的腔室，则能够避免进入管本体内的由不同硒蒸发源蒸发出的硒蒸汽在管本体内相互干扰，从而保障每个硒蒸发源处的硒蒸汽均为其实际蒸发量，大大方便对硒蒸发源实际蒸发量的掌握，便于掌握硒蒸发源功率和蒸发量的控制规律，进而方便对工艺调整，提高产能。

附图说明

构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1是根据本实用新型一实施例的硒分配管的结构示意图；