[实用新型]硒分配管、薄膜蒸镀设备及光伏芯片制造设备有效
| 申请号： | 201821510207.3 | 申请日： | 2018-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN208995582U | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 张艳超 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 黄彩荣 |
| 地址： | 100176 北京市北京经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 分配管 本实用新型 分隔体 管本体 腔室 芯片制造 体内 薄膜蒸 蒸发源 光伏 分隔 进气口 工艺调整 光伏发电 出气口 进入管 硒蒸汽 蒸发量 产能 | ||
1.一种硒分配管，其特征在于，包括：管本体以及设置在所述管本体内的分隔体，所述分隔体将所述管本体分隔成至少两个腔室，每个所述腔室均设置有进气口和出气口。
2.根据权利要求1所述的硒分配管，其特征在于，所述分隔体包括与所述管本体的内壁固定连接的固定隔板。
3.根据权利要求2所述的硒分配管，其特征在于，所述固定隔板与所述管本体采用相同材质。
4.根据权利要求1所述的硒分配管，其特征在于，所述分隔体包括隔离流体，所述管本体上设置有流体出入口。
5.根据权利要求1所述的硒分配管，其特征在于，所述分隔体包括与所述管本体转动连接的转动隔板。
6.根据权利要求1所述的硒分配管，其特征在于，所述分隔体包括沿垂直于所述管本体的延伸方向滑设在所述管本体上的滑动隔板。
7.根据权利要求1－6中任一项所述的硒分配管，其特征在于，当所述分隔体将所述管本体分隔成两个腔室时，所述分隔体位于所述管本体的中心。
8.一种薄膜蒸镀设备，其特征在于，包括如权利要求1－7中任一项所述的硒分配管以及与所述硒分配管中的所述腔室连通的硒蒸发源。
9.根据权利要求8所述的薄膜蒸镀设备，其特征在于，所述腔室的数量为两个，所述硒蒸发源的数量为两个，两个所述腔室与两个所述硒蒸发源一一流体连通。
10.一种光伏芯片制造设备，其特征在于，包括如权利要求8或者9所述的薄膜蒸镀设备。
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