[实用新型]防震激光刻蚀机有效
| 申请号： | 201821509020.1 | 申请日： | 2018-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN209078039U | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 陈刚;袁聪;潘洋;罗莉 | 申请（专利权）人： | 武汉吉事达科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/70 |
| 代理公司： | 江苏殊成律师事务所 32265 | 代理人： | 杨桂平 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光刻蚀机 防震 二维运动平台 避震器 本实用新型 二维振镜头 控制系统 吸附平台 激光器 透镜组 计算机系统 工作稳定 激光头 良品率 支承 震动 外部 | ||
【权利要求书】：
1.防震激光刻蚀机，包括机架、激光器、二维振镜头、F-θ透镜组、XY轴二维运动平台、吸附平台、控制系统和计算机系统，XY轴二维运动平台、吸附平台、控制系统和计算机系统都安装在机架上，激光器的激光头、二维振镜头和F-θ透镜组安装在XY轴二维运动平台上，其特征在于：还包括避震器，避震器安装在机架下方，多个避震器支承着整个防震激光刻蚀机。
2.根据权利要求1所述的防震激光刻蚀机，其特征在于：避震器为气垫式避震器。
3.根据权利要求1所述的防震激光刻蚀机，其特征在于：选取的避震器承载负荷是其实际承载负荷的1.5~2.5倍。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉吉事达科技股份有限公司，未经武汉吉事达科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821509020.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
