[实用新型]一种手动酸洗旋转治具有效

专利信息
申请号: 201821496783.7 申请日: 2018-09-13
公开(公告)号: CN208848859U 公开(公告)日: 2019-05-10
发明(设计)人: 罗刚;朱雪明;袁林锋 申请(专利权)人: 北京亦盛精密半导体有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/687
代理公司: 北京东方芊悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11591 代理人: 陈靳秋
地址: 101100 北京市大兴区*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 酸洗 齿轮 转动连接轴 固定工装 安装孔 传动轴 支撑杆 支架 治具 转动 本实用新型 手柄 齿轮齿合 环形卡槽 深度压力 手摇齿轮 水箱箱体 转动连接 翻转 酸洗液 推拉 垂直 安全
【权利要求书】:

1.一种手动酸洗旋转治具,其特征在于,包括水箱箱体(13)及固定工装,其中:

所述固定工装包括两个酸洗框(2),两个所述酸洗框(2)平行、间隔设置,两个所述酸洗框(2)之间垂直设有数个支撑杆(3),每个所述支撑杆(3)的两个端部分别连接于两个酸洗框(2)上;每个所述支撑杆(3)的中部的相应位置处设有至少一个环形卡槽(4);两个所述酸洗框(2)外侧分别设有支架(1),每个所述支架(1)上设有第一安装孔(12),两个所述酸洗框(2)外侧分别通过两个转动连接轴(8)转动连接于支架(1)第一安装孔(12)内,所述酸洗框(2)底部高于支架(1)底部;其中一个所述转动连接轴(8)上设有第一齿轮(7);

所述箱体(13)上设有第二安装孔(14),所述第二安装孔内设有传动轴,所述传动轴的一端设于箱体(13)外侧,另一端设有第二齿轮(5),所述第二齿轮(5)与第一齿轮(7)齿合连接,转动所述传动轴以带动酸洗框(2)在支架(1)内竖直转动。

2.根据权利要求1所述的一种手动酸洗旋转治具,其特征在于,所述支撑杆(3)的端部通过可拆卸锁紧装置锁紧固定于酸洗框(2)上。

3.根据权利要求1所述的一种手动酸洗旋转治具,其特征在于,所述第一齿轮(7)与第二齿轮(5)之间通过第三齿轮(6)齿合连接,所述第一齿轮(7),第二齿轮(5)及第三齿轮(6)分别从下往上排布。

4.根据权利要求1所述的一种手动酸洗旋转治具,其特征在于,所述支撑杆(3)数量至少三个。

5.根据权利要求1所述的一种手动酸洗旋转治具,其特征在于,所述环形卡槽(4)槽体横截面为V型。

6.根据权利要求1所述的一种手动酸洗旋转治具,其特征在于,所述第一安装孔(12)为斜槽,所述斜槽顶部与支架(1)顶部相通。

7.根据权利要求1所述的一种手动酸洗旋转治具,其特征在于,所述传动轴设于箱体(13)外侧的一端设有手柄(11)。

8.根据权利要求1所述的一种手动酸洗旋转治具,其特征在于,两个所述支架(1)均为板状支撑板,两个所述支撑板外侧分别可拆卸固定于箱体(13)相对的两个内壁上。

9.根据权利要求1所述的一种手动酸洗旋转治具,其特征在于,所述酸洗框(2)上设有数个通孔(10)。

10.根据权利要求1所述的一种手动酸洗旋转治具,其特征在于,所述固定工装为PVDF耐腐蚀性材料。

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