[实用新型]一种手动酸洗旋转治具有效
申请号: | 201821496783.7 | 申请日: | 2018-09-13 |
公开(公告)号: | CN208848859U | 公开(公告)日: | 2019-05-10 |
发明(设计)人: | 罗刚;朱雪明;袁林锋 | 申请(专利权)人: | 北京亦盛精密半导体有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/687 |
代理公司: | 北京东方芊悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11591 | 代理人: | 陈靳秋 |
地址: | 101100 北京市大兴区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 酸洗 齿轮 转动连接轴 固定工装 安装孔 传动轴 支撑杆 支架 治具 转动 本实用新型 手柄 齿轮齿合 环形卡槽 深度压力 手摇齿轮 水箱箱体 转动连接 翻转 酸洗液 推拉 垂直 安全 | ||
1.一种手动酸洗旋转治具,其特征在于,包括水箱箱体(13)及固定工装,其中:
所述固定工装包括两个酸洗框(2),两个所述酸洗框(2)平行、间隔设置,两个所述酸洗框(2)之间垂直设有数个支撑杆(3),每个所述支撑杆(3)的两个端部分别连接于两个酸洗框(2)上;每个所述支撑杆(3)的中部的相应位置处设有至少一个环形卡槽(4);两个所述酸洗框(2)外侧分别设有支架(1),每个所述支架(1)上设有第一安装孔(12),两个所述酸洗框(2)外侧分别通过两个转动连接轴(8)转动连接于支架(1)第一安装孔(12)内,所述酸洗框(2)底部高于支架(1)底部;其中一个所述转动连接轴(8)上设有第一齿轮(7);
所述箱体(13)上设有第二安装孔(14),所述第二安装孔内设有传动轴,所述传动轴的一端设于箱体(13)外侧,另一端设有第二齿轮(5),所述第二齿轮(5)与第一齿轮(7)齿合连接,转动所述传动轴以带动酸洗框(2)在支架(1)内竖直转动。
2.根据权利要求1所述的一种手动酸洗旋转治具,其特征在于,所述支撑杆(3)的端部通过可拆卸锁紧装置锁紧固定于酸洗框(2)上。
3.根据权利要求1所述的一种手动酸洗旋转治具,其特征在于,所述第一齿轮(7)与第二齿轮(5)之间通过第三齿轮(6)齿合连接,所述第一齿轮(7),第二齿轮(5)及第三齿轮(6)分别从下往上排布。
4.根据权利要求1所述的一种手动酸洗旋转治具,其特征在于,所述支撑杆(3)数量至少三个。
5.根据权利要求1所述的一种手动酸洗旋转治具,其特征在于,所述环形卡槽(4)槽体横截面为V型。
6.根据权利要求1所述的一种手动酸洗旋转治具,其特征在于,所述第一安装孔(12)为斜槽,所述斜槽顶部与支架(1)顶部相通。
7.根据权利要求1所述的一种手动酸洗旋转治具,其特征在于,所述传动轴设于箱体(13)外侧的一端设有手柄(11)。
8.根据权利要求1所述的一种手动酸洗旋转治具,其特征在于,两个所述支架(1)均为板状支撑板,两个所述支撑板外侧分别可拆卸固定于箱体(13)相对的两个内壁上。
9.根据权利要求1所述的一种手动酸洗旋转治具,其特征在于,所述酸洗框(2)上设有数个通孔(10)。
10.根据权利要求1所述的一种手动酸洗旋转治具,其特征在于,所述固定工装为PVDF耐腐蚀性材料。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造