[实用新型]一种防止光罩掉落毁损的装置

说明书

本实用新型提一种防止光罩掉落毁损的装置，包括光刻机竖直滑架、红外传感器、滑动机构、控制单元和承接件，在光刻机竖直滑架上安装滑动机构和红外传感器，当光罩通过光刻机的竖直滑架时，会通过红外传感器感应器，进而启动滑动机构，使得承接件跟随滑动机构朝外伸展，因此可以有效安全的承接掉落的光罩，避免光罩毁损。同时通过控制单元内置的定时器，可以人工设定滑动机构伸出承接件的时长，当定时的时间达到时，则通过滑动机构缩回承接件，解决了光罩掉落毁损的问题。

技术领域

本实用新型涉及光刻机领域，尤其涉及一种防止光罩掉落毁损的装置。

背景技术

Nikon i11D型号的步进式光刻机，其光罩传送至交接处时，是通过抽真空的方式对光罩进行交接。若发生真空异常时，会使得光罩掉落并砸在光刻机的机台内部，使得机台内部部件被光罩砸损，同时光罩也会具有一定程度的毁损；同时光刻机的机台在此时，也无法进行初始化安全的将光罩移动回光罩盒，因此只能人为确定安全的情形下，手动将光罩从交接处取出，并放回光罩盒中。

光罩的掉落会对机台的生产造成各项影响，对于光罩也会形成结构性的破坏，以及造成步进式光刻机的机台内部洁净度的污染。光罩的毁损，不仅造成机台无法运转，增加了生产成本，而且还会影响设备稳定性及生产效能，使机台运行陷入异常，影响产线的生产力。

实用新型内容

为此，需要提供一种防止光罩掉落毁损的装置，解决光罩掉落毁损的问题。

为实现上述目的，发明人提供了一种防止光罩掉落毁损的装置，包括光刻机竖直滑架、红外传感器、滑动机构、控制单元和承接件；所述红外传感器设置在光刻机竖直滑架的中部，滑动机构设置在光刻机竖直滑架上，且滑动机构位于红外传感器的下方，红外传感器与控制单元电连接，承接件设置在滑动机构的输出端上，控制单元与滑动机构电连接，承接件用于承接并防护掉落的光罩；滑动机构用于在光罩经过红外传感器的位置时将承接件垂直朝向光刻机竖直滑架的外部伸出。

进一步地，所述滑动机构包括驱动单元、滑架和电磁开关，驱动单元设置在光刻机竖直滑架上，承接件设置在滑架的滑杆上，驱动单元位于红外传感器的下方，滑架垂直设置在光刻机竖直滑架上，且光刻机竖直滑架位于红外传感器与驱动单元之间，驱动单元的输出轴设置在滑架的架体上，电磁开关设置在驱动单元的电源线上，控制单元与电磁开关电连接设置。

进一步地，所述驱动单元为直线电机、气泵或液压泵。

进一步地，所述滑动机构还包括蓄电池，所述蓄电池与驱动单元电连接，电磁开关电连接设置在蓄电池与驱动单元之间。

进一步地，所述承接件为橡胶网、弹力布或棉垫板。

进一步地，所述控制单元为单片机或PLC。

区别于现有技术，上述技术方案在光刻机竖直滑架上安装滑动机构和红外传感器，当光罩通过光刻机的竖直滑架时，会通过红外传感器感应器，进而启动滑动机构，使得承接件跟随滑动机构朝外伸展，达到承接件位于光罩下方，同时承接件也会与光刻机竖直滑架相互垂直，且承接件的表面积会大于光罩，因此可以有效安全的承接掉落的光罩，避免光罩毁损。同时通过控制单元内置的定时器，可以人工设定滑动机构伸出承接件的时长，当定时的时间达到时，则通过滑动机构缩回承接件。具体的，人工设定的时长会大于在光罩通过红外传感器时起至光罩通过光刻机的交接处期间的时长再加上光罩掉落至承接件处的时长，继而滑动机构将承接件回收，解决了光罩掉落毁损的问题。

附图说明

图1为具体实施方式所述的防止光罩掉落毁损的装置的示意图；

图2为具体实施方式所述的防止光罩掉落毁损的装置的局部剖视图；

附图标记说明：

1、光罩；

10、光刻机竖直滑架；11、红外传感器；