[实用新型]一种防止光罩掉落毁损的装置有效
| 申请号： | 201821495757.2 | 申请日： | 2018-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN208780988U | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 林金锡;许哲维 | 申请（专利权）人： | 福建省福联集成电路有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人： | 林祥翔;徐剑兵 |
| 地址： | 351117 福建省莆*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 滑动机构 光罩 承接件 掉落 毁损 竖直滑架 光刻机 红外传感器 红外传感器感应 定时器 本实用新型 缩回 朝外 内置 时长 伸展 承接 伸出 安全 | ||
1.一种防止光罩掉落毁损的装置，其特征在于：包括光刻机竖直滑架、红外传感器、滑动机构、控制单元和承接件；
所述红外传感器设置在光刻机竖直滑架的中部，滑动机构设置在光刻机竖直滑架上，且滑动机构位于红外传感器的下方，红外传感器与控制单元电连接，承接件设置在滑动机构的输出端上，控制单元与滑动机构电连接，承接件用于承接并防护掉落的光罩；滑动机构用于在光罩经过红外传感器的位置时将承接件垂直朝向光刻机竖直滑架的外部伸出。
2.根据权利要求1所述的一种防止光罩掉落毁损的装置，其特征在于：所述滑动机构包括驱动单元、滑架和电磁开关，驱动单元设置在光刻机竖直滑架上，承接件设置在滑架的滑杆上，驱动单元位于红外传感器的下方，滑架垂直设置在光刻机竖直滑架上，且光刻机竖直滑架位于红外传感器与驱动单元之间，驱动单元的输出轴设置在滑架的架体上，电磁开关设置在驱动单元的电源线上，控制单元与电磁开关电连接设置。
3.根据权利要求2所述的一种防止光罩掉落毁损的装置，其特征在于：所述驱动单元为直线电机、气泵或液压泵。
4.根据权利要求2所述的一种防止光罩掉落毁损的装置，其特征在于：所述滑动机构还包括蓄电池，所述蓄电池与驱动单元电连接，电磁开关电连接设置在蓄电池与驱动单元之间。
5.根据权利要求1所述的一种防止光罩掉落毁损的装置，其特征在于：所述承接件为橡胶网、弹力布或棉垫板。
6.根据权利要求1所述的一种防止光罩掉落毁损的装置，其特征在于：所述控制单元为单片机或PLC。
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