[实用新型]一种晶圆流片生产用清洗装置

权利要求书

1.一种晶圆流片生产用清洗装置，包括工作台（1）、放置盒（2）、放置架、清洗刷（3）和多组清洗棉球（4），放置架设置在工作台顶端前半区域上，放置盒设置在工作台顶端后侧，且放置盒内设置有放置腔，并在放置腔内盛放有酒精，放置盒顶端设置有取放口；其特征在于，还包括按压泵（30），按压泵设置在取放口上，且按压泵输出端位于放置架正上方，按压泵输入端位于放置腔内；还包括盛放盒（5）和支块（6），支块设置在工作台顶端，盛放盒底端设置有插槽，且支块顶端插入至插槽内部，盛放盒顶端设置有盛放槽；还包括前支撑件和后支撑件（7），放置架包括左调节件（8）、左固定件、左转动轴（9）、右调节件、右固定件（10）和右转动轴，左调节件和右调节件分别设置在工作台顶端左部区域和右部区域上，且左调节件和右调节件分别位于盛放盒左右两侧，左转动轴和右转动轴分别设置在左调节件和右调节件上，左固定件左端中部和右固定件右端中部分别设置有左连接槽和右连接槽，且左转动轴和右转动轴分别插入至左连接槽和右连接槽内部，左固定件左端外侧和右固定件右端外侧分别与左调节件和右调节件接触，前支撑件和后支撑件分别设置在工作台顶端前半区域和后半区域上。

2.如权利要求1所述的一种晶圆流片生产用清洗装置，其特征在于，所述前支撑件包括两组前螺纹管、两组前螺纹杆（11）、两组前滚珠轴承（12）和前支撑板（13），工作台顶端左前区域和右前区域上均设置有前安装槽，两组前滚珠轴承分别设置在两组前安装槽内，两组前螺纹管底端分别插入至两组前滚珠轴承内部，两组前螺纹杆底端分别插入并螺装在两组前螺纹管顶端内部，前支撑板位于盛放盒上方，且前支撑板底端左右两侧分别与两组前螺纹杆顶端连接。

3.如权利要求2所述的一种晶圆流片生产用清洗装置，其特征在于，所述后支撑件包括两组后螺纹管（14）、两组后螺纹杆、两组后滚珠轴承和后支撑板（15），工作台顶端左后区域和右后区域上均设置有后安装槽，两组后滚珠轴承分别设置在两组后安装槽内，两组后螺纹管底端分别插入至两组后滚珠轴承内部，两组后螺纹杆底端分别插入并螺装在两组后螺纹管顶端内部，后支撑板位于盛放盒上方，且后支撑板底端左右两侧分别与两组后螺纹杆顶端连接。

4.如权利要求3所述的一种晶圆流片生产用清洗装置，其特征在于，所述左调节件包括左螺纹管（16）、左螺纹杆、左滚珠轴承（17）和左支块，工作台顶端左半区域上设置有左安装槽，左滚珠轴承设置在左安装槽内，左螺纹管底端插入至左滚珠轴承内部，左螺纹杆底端插入并螺装在左螺纹管顶端内部，左支块设置在左螺纹杆顶端，左转动轴设置在左支块右端。

5.如权利要求4所述的一种晶圆流片生产用清洗装置，其特征在于，所述左固定件包括左连接块、左上连接板（18）、左下连接板（19）、第一螺纹杆、第一转动块（20）和第一固定板（21），左连接块左端外侧与左支块右端外侧接触，左上连接板和左下连接板分别设置在左连接块顶端和底端上，左上连接板上设置有第一通孔，并在第一通孔内侧壁上设置有内螺纹结构，且第一螺纹杆底端穿过并螺装在第一通孔上，第一固定板位于左上连接板下方，且第一固定板顶端与第一螺纹杆底端连接，第一转动块设置在第一螺纹杆顶端。

6.如权利要求5所述的一种晶圆流片生产用清洗装置，其特征在于，所述右调节件包括右螺纹管、右螺纹杆（22）、右滚珠轴承和右支块（23），工作台顶端右半区域上设置有右安装槽，右滚珠轴承设置在右安装槽内，右螺纹管底端插入至右滚珠轴承内部，右螺纹杆底端插入并螺装在右螺纹管顶端内部，右支块设置在右螺纹杆顶端，右转动轴设置在右支块右端。

7.如权利要求6所述的一种晶圆流片生产用清洗装置，其特征在于，所述右固定件包括右连接块（24）、右上连接板、右下连接板、第二螺纹杆（25）、第二转动块和第二固定板，右连接块右端外侧与右支块左端外侧接触，右上连接板和右下连接板分别设置在右连接块顶端和底端上，右上连接板上设置有第二通孔，并在第二通孔内侧壁上设置有内螺纹结构，第二螺纹杆底端穿过并螺装在第二通孔上，第二固定板位于右上连接板下方，且第二固定板顶端与第二螺纹杆底端连接，第二转动块设置在第二螺纹杆顶端。