[实用新型]半导体测试设备

说明书

一种半导体测试设备，包括：外观测试装置，外观测试装置包括外观测试腔体、图像采集仪和罩子，外观测试腔体包括第一顶板，第一顶板中具有贯穿第一顶板的第一开口，图像采集仪位于外观测试腔体中，图像采集仪包括探头，探头朝向第一开口，图像采集仪适于对探头上方的芯片进行图像采集，罩子位于外观测试腔体中且包围探头；罩子包括环状罩侧板和与环状罩侧板连接的罩底板，由环状罩侧板和罩底板包围的空间构成罩开口，罩底板中具有贯穿罩底板的罩孔，罩开口朝向所述第一开口，探头通过罩孔延伸至罩子内，且罩孔的内壁与探头中的底部区域接触。所述半导体测试设备的性能得到提高。

技术领域

本实用新型涉及半导体设备领域，尤其涉及一种半导体测试设备。

背景技术

在半导体测试过程中，半导体测试设备大都采用机械手臂上安装吸嘴抓取芯片，具体的，将芯片从半导体测试设备中的料盘中吸取出来，然后运输至指定的地点。

芯片运输是在机械手臂高速运动的状态下进行的，若机械手臂抓取芯片稍有不牢固，芯片就可能在运输过程中掉落。随着半导体技术的发展，芯片的体积越来越小，机械手臂抓取芯片时对机械手臂与芯片的相对位置的精度要求提高。因此在芯片测试的过程中，芯片掉落的情况是不可避免的。

现有技术中也设置了一些避免芯片掉落至半导体测试设备内部的结构，然而，所述半导体测试设的性能还有待提高。

实用新型内容

本实用新型解决的问题是提供一种半导体测试设备，以提高半导体测试设备的性能。

为解决上述问题，本实用新型提供一种半导体测试设备，包括：外观测试装置，所述外观测试装置包括外观测试腔体、图像采集仪和罩子，所述外观测试腔体包括第一顶板，第一顶板中具有贯穿第一顶板的第一开口，所述图像采集仪位于外观测试腔体中，所述图像采集仪包括探头，所述探头朝向第一开口，所述图像采集仪适于对探头上方的芯片进行图像采集，所述罩子位于外观测试腔体中且包围探头；所述罩子包括环状罩侧板和与所述环状罩侧板连接的罩底板，由环状罩侧板和罩底板包围的空间构成罩开口，所述罩底板中具有贯穿罩底板的罩孔，所述罩开口朝向第一开口，所述探头通过所述罩孔延伸至罩子内，且所述罩孔的内壁与所述探头中的底部区域接触。

可选的，所述罩底板的形状呈圆锥形，所述罩孔位于所述罩底板的中心。

可选的，所述罩底板与所述罩侧板之间具有钝角夹角，所述钝角夹角为115度～125度。

可选的，所述钝角夹角为120度。

可选的，还包括：报警系统，所述报警系统适于对图像采集仪所采集的异常图像进行报警。

可选的，所述外观测试装置还包括：位于所述外观测试腔体上的旋转盘，所述旋转盘置于第一开口上以及第一开口周围的部分第一顶板上，所述旋转盘可围绕自身的中心轴进行旋转，所述旋转盘的中心轴垂直于第一顶板的表面；所述旋转盘中具有贯穿旋转盘的若干分立的盘口，各盘口均朝向所述第一开口，所述盘口中适于容纳测试适配卡，所述测试适配卡中具有贯穿所述测试适配卡的卡口，所述卡口中适于容纳芯片；所述旋转盘适于通过围绕自身的中心轴旋转而使一个盘口对应的区域位于所述图像采集仪的上方。

可选的，还包括：位于所述外观测试装置的侧部的主传输装置，所述主传输装置包括主传输腔体，所述主传输腔体包括第二底板、以及相对的第一传输侧板和第二传输侧板，第一传输侧板和第二传输侧板位于第二底板的两侧且与第二底板固定连接，第一传输侧板和第二传输侧板均垂直于第二底板，第一传输侧板和第二传输侧板相互平行；所述外观测试装置朝向所述第一传输侧板；所述主传输装置还包括：若干隔离板，所述若干隔离板沿平行于第一传输侧板和第二传输侧板且平行于第二底板的方向分立排列，各隔离板均垂直于第一传输侧板、第二传输侧板和第二底板，各隔离板分别与第一传输侧板、第二传输侧板和第二底板固定连接。