[实用新型]半导体测试设备有效
申请号: | 201821463301.8 | 申请日: | 2018-09-07 |
公开(公告)号: | CN208705243U | 公开(公告)日: | 2019-04-05 |
发明(设计)人: | 卢春阳;庄建强 | 申请(专利权)人: | 苏州通富超威半导体有限公司 |
主分类号: | G01N21/892 | 分类号: | G01N21/892;G01N21/01 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 薛异荣;吴敏 |
地址: | 215021 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 外观测试 探头 底板 图像采集仪 罩子 开口 腔体 半导体测试设备 环状罩 罩孔 侧板 包围 侧板连接 底部区域 图像采集 贯穿 内壁 芯片 延伸 | ||
1.一种半导体测试设备,其特征在于,包括:
外观测试装置,所述外观测试装置包括外观测试腔体、图像采集仪和罩子,所述外观测试腔体包括第一顶板,第一顶板中具有贯穿第一顶板的第一开口,所述图像采集仪位于外观测试腔体中,所述图像采集仪包括探头,所述探头朝向第一开口,所述图像采集仪适于对探头上方的芯片进行图像采集,所述罩子位于外观测试腔体中且包围探头;
所述罩子包括环状罩侧板和与所述环状罩侧板连接的罩底板,由环状罩侧板和罩底板包围的空间构成罩开口,所述罩底板中具有贯穿罩底板的罩孔,所述罩开口朝向第一开口,所述探头通过所述罩孔延伸至罩子内,且所述罩孔的内壁与所述探头中的底部区域接触。
2.根据权利要求1所述的半导体测试设备,其特征在于,所述罩底板的形状呈圆锥形,所述罩孔位于所述罩底板的中心。
3.根据权利要求2所述的半导体测试设备,其特征在于,所述罩底板与所述罩侧板之间具有钝角夹角,所述钝角夹角为115度~125度。
4.根据权利要求3所述的半导体测试设备,其特征在于,所述钝角夹角为120度。
5.根据权利要求1或2所述的半导体测试设备,其特征在于,还包括:报警系统,所述报警系统适于对图像采集仪所采集的异常图像进行报警。
6.根据权利要求1所述的半导体测试设备,其特征在于,所述外观测试装置还包括:位于所述外观测试腔体上的旋转盘,所述旋转盘置于第一开口上以及第一开口周围的部分第一顶板上,所述旋转盘可围绕自身的中心轴进行旋转,所述旋转盘的中心轴垂直于第一顶板的表面;
所述旋转盘中具有贯穿旋转盘的若干分立的盘口,各盘口均朝向所述第一开口,所述盘口中适于容纳测试适配卡,所述测试适配卡中具有贯穿所述测试适配卡的卡口,所述卡口中适于容纳芯片;所述旋转盘适于通过围绕自身的中心轴旋转而使一个盘口对应的区域位于所述图像采集仪的上方。
7.根据权利要求1所述的半导体测试设备,其特征在于,还包括:位于所述外观测试装置的侧部的主传输装置,所述主传输装置包括主传输腔体,所述主传输腔体包括第二底板、以及相对的第一传输侧板和第二传输侧板,第一传输侧板和第二传输侧板位于第二底板的两侧且与第二底板固定连接,第一传输侧板和第二传输侧板均垂直于第二底板,第一传输侧板和第二传输侧板相互平行;所述外观测试装置朝向所述第一传输侧板;
所述主传输装置还包括:若干隔离板,所述若干隔离板沿平行于第一传输侧板和第二传输侧板且平行于第二底板的方向分立排列,各隔离板均垂直于第一传输侧板、第二传输侧板和第二底板,各隔离板分别与第一传输侧板、第二传输侧板和第二底板固定连接。
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