[实用新型]一种用于真空镀膜的可移出式滚筒装置

说明书

本实用新型涉及一种用于真空镀膜的可移出式滚筒装置，其包括真空壳体、旋转传动机构、旋转磁流体密封件、筒状转动框架及工件滚筒；旋转磁流体密封件包括固定密封座、传动转轴和转轴齿轮；筒状转动框架包括后法兰板、前法兰环及水冷筋板；传动转轴一端装配连接筒状转动框架，另一端与旋转传动机构连接并还安装有旋转水接头；旋转水接头内部还穿设有中心回水管；中心回水管一端伸入旋转水接头内部，另一端与筒状转动框架连接。本实用新型能使装载工件的滚筒持续接受冷却水强制接触式冷却，可用于大批量小薄尺寸工件持续地翻滚搅拌和持续地接触式强制水冷，实现工件全表面在温度控制条件下的均匀镀铝或者镀制其它金属膜层的应用。

技术领域

本实用新型属于真空镀膜设备技术领域，特别涉及一种用于真空镀膜的可移出式滚筒装置。

背景技术

对于大批量小薄尺寸工件的真空镀膜应用，通常采用水平转动的滚筒镀膜方式。在工件滚筒持续转动中，所装载的小薄尺寸工件受到持续翻滚和搅拌，实现全表面的均匀镀膜。为了大量小薄尺寸工件的装卸方便，通常工件滚筒设计成可移出真空壳体的结构。在移出真空壳体时，旋转传动机构和工件滚筒通常设计成容易方便脱开的结构；在移入真空壳体时，旋转传动机构和工件滚筒又容易方便连接，如果需要还要同时建立导电连接。

在镀制铝膜层或其它较低熔点金属膜层时，镀制过程中由于高温热辐射(蒸发镀膜)、或者放电离子轰击(阴极电弧或者磁控溅射)都会导致被镀工件温度升高。工件温度升高后，会导致金属膜层再结晶(相变)或者膜层相互粘连，降低膜层质量；另外有些被镀工件本身也需要控制在较低的温度下镀膜。

为解决这些问题，可以将冷却水通过传动机构直接通到工件滚筒上。对于可移出式工件滚筒，冷却水在真空壳体内频繁地接通和断开将是十分困难的，会严重地降低真空镀膜机的运行可靠性和稳定性，在实际生产中几乎不具备可操作性。如果水冷的工件滚筒固定在真空壳体内，又会严重影响大量小薄尺寸工件的日常装卸方便，也会严重影响和妨碍镀膜机本身的日常维修和维护，造成镀膜生产中持续的困难，因此目前也不被采用。

发明内容

针对上述问题，本实用新型的目的是提供一种用于真空镀膜的可移出式滚筒装置，其结构设计简单、合理，能持续经受冷却水强制接触式冷却，能在真空镀膜过程中维持持续水平转动，可用于大批量小薄尺寸工件持续地翻滚搅拌和持续地接触式强制水冷，实现工件全表面在温度控制条件下的均匀镀铝或者镀制其它金属膜层的应用。

本实用新型的技术方案如下：

上述的用于真空镀膜的可移出式滚筒装置，包括真空壳体、安装于所述真空壳体后端外侧的旋转传动机构和旋转磁流体密封件、安装于所述真空壳体内侧的筒状转动框架以及活动安装于所述筒状转动框架内侧的工件滚筒；所述旋转磁流体密封件包括固定密封座、传动转轴和转轴齿轮；所述固定密封座安装在所述真空壳体的后端中部外侧；所述传动转轴水平穿过所述固定密封座中心内部，其一端装配连接所述筒状转动框架，另一端与所述旋转传动机构连接；所述筒状转动框架包括后法兰板、前法兰环及连接于所述后法兰板和前法兰环之间的水冷筋板；所述传动转轴采用空心转轴结构即内部沿轴向贯通开设有传动转轴内孔：所述传动转轴的另一端轴向端部装配连接有旋转水接头；

所述旋转水接头的一端径向安装有冷却水进水接嘴且一端轴向端部安装有冷却水出水接嘴；所述冷却水进水接嘴与所述传动转轴内孔连通；所述旋转水接头的另一端与所述传动转轴的另一端轴向端部装配连接；所述旋转水接头的内部沿轴向还穿设有用于回水的中心回水管；所述中心回水管的一端伸入所述旋转水接头内部并与所述冷却水出水接嘴匹配连通；所述中心回水管的另一端穿过所述传动转轴伸入所述真空壳体内侧与所述筒状转动框架连接；

所述水冷筋板上设有密封水道且位于所述筒状转动框架内侧的一面上还固设有导电导热金属板；所述导电导热金属板的内侧固设有导电导热硅胶垫；相邻所述水冷筋板的后端之间还连接有进出水管；所述进出水管将所述水冷筋板上的水路串联后形成进出水通路；所述进出水通路的进水端与所述传动转轴内孔匹配连通；所述进出水通路的出水端与所述中心回水管的内管孔匹配连通。