[实用新型]一种用于真空镀膜的可移出式滚筒装置有效

专利信息
申请号: 201821452024.0 申请日: 2018-09-05
公开(公告)号: CN208685051U 公开(公告)日: 2019-04-02
发明(设计)人: 董骐;罗蓉平;李常彬;刘永军;张超逸;杜建 申请(专利权)人: 北京丹鹏表面技术研究中心
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50
代理公司: 北京元本知识产权代理事务所 11308 代理人: 常桑
地址: 102206 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 转动框架 筒状 旋转水接头 磁流体密封件 旋转传动机构 本实用新型 中心回水管 传动转轴 滚筒装置 可移出式 真空镀膜 滚筒 温度控制条件 固定密封座 接触式冷却 尺寸工件 金属膜层 强制水冷 真空壳体 转轴齿轮 装配连接 后法兰 接触式 冷却水 前法兰 全表面 镀铝 镀制 筋板 可用 伸入 水冷 翻滚 装载 应用
【权利要求书】:

1.一种用于真空镀膜的可移出式滚筒装置,包括真空壳体、安装于所述真空壳体后端外侧的旋转传动机构和旋转磁流体密封件、安装于所述真空壳体内侧的筒状转动框架以及活动安装于所述筒状转动框架内侧的工件滚筒;所述旋转磁流体密封件包括固定密封座、传动转轴和转轴齿轮;所述固定密封座安装在所述真空壳体的后端中部外侧;所述传动转轴水平穿过所述固定密封座中心内部,其一端装配连接所述筒状转动框架,另一端与所述旋转传动机构连接;所述筒状转动框架包括后法兰板、前法兰环及连接于所述后法兰板和前法兰环之间的水冷筋板;其特征在于:所述传动转轴采用空心转轴结构即内部沿轴向贯通开设有传动转轴内孔:所述传动转轴的另一端轴向端部装配连接有旋转水接头;

所述旋转水接头的一端径向安装有冷却水进水接嘴且一端轴向端部安装有冷却水出水接嘴;所述冷却水进水接嘴与所述传动转轴内孔连通;所述旋转水接头的另一端与所述传动转轴的另一端轴向端部装配连接;所述旋转水接头的内部沿轴向还穿设有用于回水的中心回水管;所述中心回水管的一端伸入所述旋转水接头内部并与所述冷却水出水接嘴匹配连通;所述中心回水管的另一端穿过所述传动转轴伸入所述真空壳体内侧与所述筒状转动框架连接;

所述水冷筋板上设有密封水道且位于所述筒状转动框架内侧的一面上还固设有导电导热金属板;所述导电导热金属板的内侧固设有导电导热硅胶垫;相邻所述水冷筋板的后端之间还连接有进出水管;所述进出水管将所述水冷筋板上的水路串联后形成进出水通路;所述进出水通路的进水端与所述传动转轴内孔匹配连通;所述进出水通路的出水端与所述中心回水管的内管孔匹配连通。

2.如权利要求1所述的用于真空镀膜的可移出式滚筒装置,其特征在于:所述后法兰板的中部开设有圆形通孔且在所述圆形通孔对应的外侧面装设有转动框架连接法兰;所述转动框架连接法兰的内部匹配设置有彼此隔开的转动框架法兰进水通道和转动框架法兰回水通道;所述转动框架法兰进水通道与所述传动转轴内孔匹配连通,所述转动框架法兰回水通道与所述中心回水管的内管孔匹配连通;

所述进出水通路的进水端匹配接通所述转动框架进水通道并通过所述转动框架进水通道与所述传动转轴内孔连通;所述进出水通路的出水端匹配接通所述转动框架法兰回水通道并通过所述转动框架法兰回水通道与所述中心回水管的内管孔匹配连通。

3.如权利要求2所述的用于真空镀膜的可移出式滚筒装置,其特征在于:所述传动转轴的一端轴向端部安装有转轴内连接法兰并通过所述转轴内连接法兰与所述转动框架连接法兰匹配连接;

所述传动转轴的另一端轴向端部设有转轴外连接法兰;所述传动转轴的另一端径向外圆周匹配安装有转轴齿轮;

所述旋转水接头的另一端轴向端部安装有可旋转的接头密封法兰并通过所述接头密封法兰与所述转轴外连接法兰匹配连接。

4.如权利要求3所述的用于真空镀膜的可移出式滚筒装置,其特征在于:所述旋转传动机构由电机、安装在所述电机的动力输出侧的减速机及安装在所述电机的动力输出轴上的传动齿轮组成;所述电机的动力输出轴通过所述传动齿轮与所述转轴齿轮匹配啮合。

5.如权利要求1所述的用于真空镀膜的可移出式滚筒装置,其特征在于:所述真空壳体的前端装配有前开门,后端固设有后盖板;所述真空壳体的前端内侧下方匹配设有两个支撑轮,两个所述支撑轮均设有与所述真空壳体实现电绝缘的绝缘结构。

6.如权利要求5所述的用于真空镀膜的可移出式滚筒装置,其特征在于:所述后法兰板与前法兰环彼此平行相对布置,所述水冷筋板沿所述后法兰板和前法兰环的圆周均匀分布;所述前法兰环由安装在所述真空壳体内侧下方的两个所述支撑轮支撑。

7.如权利要求5所述的用于真空镀膜的可移出式滚筒装置,其特征在于:所述固定密封座安装在所述后盖板的中部外侧,其与所述后盖板中部外壁之间装有绝缘垫;所述固定密封座通过所述绝缘垫与所述真空壳体之间实现电绝缘。

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