[实用新型]一种用于单晶炉的旋阀有效
申请号: | 201821439931.1 | 申请日: | 2018-09-03 |
公开(公告)号: | CN208703151U | 公开(公告)日: | 2019-04-05 |
发明(设计)人: | 陈世斌 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创真空技术有限公司 |
主分类号: | F16K3/06 | 分类号: | F16K3/06;F16K31/12;F16K31/44 |
代理公司: | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人: | 罗焕清 |
地址: | 100176 北京市大兴区北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 管道部 容纳 旋盖 清理装置 驱动装置 单晶炉 清洁棉 内壁 旋阀 圆辊 矩形盒状结构 本实用新型 容纳部内壁 摆动机构 顶部敞口 升降机构 自动开启 圆柱状 中空的 摆动 挡壁 连通 清扫 升降 | ||
本实用新型提供了一种用于单晶炉的旋阀,包括管道部和容纳部,所述管道部呈圆柱状,所述容纳部与所述管道部连接,所述管道部底部设置有旋盖,所述管道部的顶部敞口设置,所述管道部远离所述容纳部的一侧为半圆形的挡壁,所述容纳部为中空的矩形盒状结构,所述容纳部与所述管道部连通;所述容纳部上设置有用于控制所述旋盖打开的驱动装置,所述驱动装置包括用于控制所述旋盖升降的升降机构以及用于控制所述旋盖在水平方向上摆动的摆动机构;所述容纳部内还设置有清理装置,所述清理装置包括设置在所述容纳部内壁的圆辊,所述圆辊外包裹有清洁棉,清洁棉可以对容纳部的内壁进行清扫。在实现自动开启旋盖的同时,方便对容纳部的内壁进行清理。
技术领域
本实用新型涉及单晶炉生产设备技术领域,具体涉及一种用于单晶炉的旋阀。
背景技术
现有技术中位于单晶炉主副室之间的翻板阀采用直立旋转式开合结构。若要打开阀盖,需要通过操作摆臂沿摆臂末端的支点旋构转,将中心紧固在摆臂另一端的阀盖掀起。上述结构为了实现阀的开闭功能,所需要的空间较大;在单晶炉设备总高度不变的前提下,上述结构限制了单晶炉设备中副室的设计高度,间接影响到副室中生成单晶棒的长度,进而影响到单晶的生产效率。
发明内容
一种用于单晶炉的旋阀,包括管道部和容纳部,所述管道部呈圆柱状,所述容纳部与所述管道部连接,所述管道部底部设置有旋盖,所述管道部的顶部敞口设置,所述管道部远离所述容纳部的一侧为半圆形的挡壁,所述容纳部为中空的矩形盒状结构,所述容纳部与所述管道部连通;所述容纳部上设置有用于控制所述旋盖打开的驱动装置,所述驱动装置包括用于控制所述旋盖升降的升降机构以及用于控制所述旋盖在水平方向上摆动的摆动机构;
所述升降机构包括设置在所述容纳部上的第一气缸,所述第一气缸的输出端连接有升降杆,所述升降杆与所述旋盖所在的平面垂直;所述升降杆底端转动连接有连接轴,所述连接轴与所述升降杆同向设置,所述连接轴上固定连接有摆动杆,所述摆动杆向所述旋盖的圆中心位置处延伸,并且所述摆动杆与所述旋盖固定连接;所述摆动机构包括第二气缸,所述第二气缸的输出端连接有用于控制所述连接轴转动的套环,所述套环的一端与所述第二气缸铆接用销轴连接,所述套环的另一端套接在所述连接轴外,并且所述套环与所述连接轴之间设置有用于阻止所述连接轴与所述套环相对转动的卡接机构;
所述容纳部内还设置有清理装置,所述清理装置包括设置在所述容纳部内壁的圆辊,所述圆辊外包裹有清洁棉,所述容纳部的内壁设置有T形槽,所述T形槽内设置有与所述T形槽滑动连接的控制杆,所述控制杆与所述圆辊固定连接。
进一步的,所述圆辊的长度等于所述容纳部的宽度。
进一步的,所述控制杆上设置有支架,所述圆辊的中心轴转动连接在所述支架上,并且所述支架上设置有用于驱动所述圆辊转动的电机。
进一步的,所述容纳部的侧壁在靠近所述管道部一端连接有支撑板,所述支撑板向所述容纳部之外伸出,所述第一气缸固定连接在所述支撑板上。
进一步的,所述卡接机构包括设置在所述连接轴上的滑槽,所述滑槽呈长条形,并且所述滑槽沿所述连接轴的长度方向延伸;所述套环与所述滑槽使用的凸块连接,所述凸块插入所述滑槽内并能在所述滑槽内滑动。
进一步的,所述容纳部远离所述管道部一侧设置有维修盖,所述维修盖呈矩形,所述维修盖的一边与所述容纳部铰接,所述维修盖的另一边与所述容纳部之间通过开关机构与所述容纳部固定。
进一步的,所述管道部远离所述容纳部的一侧设置有观察窗。
进一步的,所述管道部的挡壁为双层结构,所述挡壁内具有空腔;所述挡壁的上端设置有环状的第一法兰,所述管道部的下端设置有环状的第二法兰,所述挡壁的空腔通过所述第一法兰和所述第二法兰密封,并且所述挡壁上设置有若干个与所述空腔连通的水管接头
需要说明的是,本发明提供的技术方案不需要同时达到上述所有技术效果。
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