[实用新型]一种用于单晶炉的旋阀有效
| 申请号: | 201821439931.1 | 申请日: | 2018-09-03 |
| 公开(公告)号: | CN208703151U | 公开(公告)日: | 2019-04-05 |
| 发明(设计)人: | 陈世斌 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创真空技术有限公司 |
| 主分类号: | F16K3/06 | 分类号: | F16K3/06;F16K31/12;F16K31/44 |
| 代理公司: | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人: | 罗焕清 |
| 地址: | 100176 北京市大兴区北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 管道部 容纳 旋盖 清理装置 驱动装置 单晶炉 清洁棉 内壁 旋阀 圆辊 矩形盒状结构 本实用新型 容纳部内壁 摆动机构 顶部敞口 升降机构 自动开启 圆柱状 中空的 摆动 挡壁 连通 清扫 升降 | ||
1.一种用于单晶炉的旋阀,其特征在于:包括管道部(2)和容纳部(1),所述管道部(2)呈圆柱状,所述容纳部(1)与所述管道部(2)连接,所述管道部(2)底部设置有旋盖(50),所述管道部(2)的顶部敞口设置,所述管道部(2)远离所述容纳部(1)的一侧为半圆形的挡壁(21),所述容纳部(1)为中空的矩形盒状结构,所述容纳部(1)与所述管道部(2)连通;所述容纳部(1)上设置有用于控制所述旋盖(50)打开的驱动装置,所述驱动装置包括用于控制所述旋盖(50)升降的升降机构以及用于控制所述旋盖(50)在水平方向上摆动的摆动机构;
所述升降机构包括设置在所述容纳部(1)上的第一气缸(30),所述第一气缸(30)的输出端连接有升降杆(31),所述升降杆(31)与所述旋盖(50)所在的平面垂直;所述升降杆(31)底端转动连接有连接轴(32),所述连接轴(32)与所述升降杆(31)同向设置,所述连接轴(32)上固定连接有摆动杆(62),所述摆动杆(62)向所述旋盖(50)的圆中心位置处延伸,并且所述摆动杆(62)与所述旋盖(50)固定连接;所述摆动机构包括第二气缸(60),所述第二气缸(60)的输出端连接有用于控制所述连接轴(32)转动的套环(61),所述套环(61)的一端与所述第二气缸(60)用销轴连接,所述套环(61)的另一端套接在所述连接轴(32)外,并且所述套环(61)与所述连接轴(32)之间设置有用于阻止所述连接轴(32)与所述套环(61)相对转动的卡接机构;
所述容纳部(1)内还设置有清理装置,所述清理装置包括设置在所述容纳部(1)内壁的圆辊(71),所述圆辊(71)外包裹有清洁棉,所述容纳部(1)的内壁设置有T形槽(11),所述T形槽(11)内设置有与所述T形槽(11)滑动连接的控制杆(73),所述控制杆(73)与所述圆辊(71)固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的旋阀,其特征在于:所述圆辊(71)的长度等于所述容纳部(1)的宽度。
3.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的旋阀,其特征在于:所述控制杆(73)上设置有支架(70),所述圆辊(71)的中心轴转动连接在所述支架(70)上,并且所述支架(70)上设置有用于驱动所述圆辊(71)转动的电机(72)。
4.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的旋阀,其特征在于:所述容纳部(1)的侧壁在靠近所述管道部(2)一端连接有支撑板(40),所述支撑板(40)向所述容纳部(1)之外伸出,所述第一气缸(30)固定连接在所述支撑板(40)上。
5.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的旋阀,其特征在于:所述卡接机构包括设置在所述连接轴(32)上的滑槽(321),所述滑槽(321)呈长条形,并且所述滑槽(321)沿所述连接轴(32)的长度方向延伸;所述套环(61)与所述滑槽(321)使用凸块(611)连接,所述凸块(611)插入所述滑槽(321)内并能在所述滑槽(321)内滑动。
6.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的旋阀,其特征在于:所述容纳部(1)远离所述管道部(2)一侧设置有维修盖,所述维修盖呈矩形,所述维修盖的一边与所述容纳部(1)铰接,所述维修盖的另一边与所述容纳部(1)之间通过开关机构与所述容纳部(1)固定。
7.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的旋阀,其特征在于:所述管道部(2)远离所述容纳部(1)的一侧设置有观察窗(12)。
8.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的旋阀,其特征在于:所述管道部(2)的挡壁(21)为双层结构,所述挡壁(21)内具有空腔;所述挡壁(21)的上端设置有环状的第一法兰(13),所述管道部(2)的下端设置有环状的第二法兰(24),所述挡壁(21)的空腔通过所述第一法兰(13)和所述第二法兰(24)密封,并且所述挡壁(21)上设置有若干个与所述空腔连通的水管接头(22)。
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